[发明专利]一种多晶硅铸锭用熔化长晶工艺在审
| 申请号： | 201710495608.X | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN109112620A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 宋江;郭宽新 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司;泗阳瑞泰光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 熔化 隔热笼 铸锭炉 多晶硅铸锭 开度控制 隔热垫 跳步 铸锭 坩埚 矩形石墨 目标设定 时间控制 含氧量 石墨块 小晶粒 多晶 良率 炉体 凸形 升降 测量 体内 铸造 封闭 时机 | ||
1.一种多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，其特征在于，包括：
1)熔化后期阶段：在熔化过程的最后1-5h，将熔化温度控制在1480～1510℃，铸锭炉的隔热笼开度控制在3～6cm；
2)熔化测量跳步操作：依照所述铸锭炉底部硅固体剩余高度和当前的熔化速度来共同确定跳步时机；
3)长晶前期阶段：降温时间控制在20～40min，降温目标设定在1430～1440℃，所述隔热笼开度控制在5～7cm。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，其特征在于，所述熔化测量跳步操作中按照最近30min内熔化高度计算，通过石英棒测量所述铸锭炉底部硅固体高度，当达到目标高度时，人工将铸锭炉运行的当前程序转换为后续程序。
3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，其特征在于，所述铸锭炉包括炉体、设置在所述炉体内并能够升降的隔热笼、设置在所述隔热笼内的坩埚、设置于所述坩埚底部的矩形石墨块、设置于所述石墨块下方并能够封闭所述隔热笼底部的隔热垫，所述隔热垫的横截面为凸形。
4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，其特征在于，所述熔化后期阶段中，在熔化最后一步，将熔化温度控制在1500℃。
5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，其特征在于，所述熔化后期阶段中，在熔化最后一步，将熔化时间控制在300min。
6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，其特征在于，所述熔化后期阶段中，在熔化最后一步，将所述隔热笼开度控制在5cm。
7.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，其特征在于，所述长晶前期阶段中，在长晶第一步，将降温目标设定在1435℃。
8.根据权利要求7所述的多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，其特征在于，所述长晶前期阶段中，在长晶第一步，将降温时间控制在30min。
9.根据权利要求8所述的多晶硅铸锭用熔化长晶工艺，其特征在于，所述长晶前期阶段中，在长晶第一步，将所述隔热笼开度控制在6cm。
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