[发明专利]电离室、离子植入设备及离子植入方法

说明书

本发明公布了一种电离室，应用于离子植入设备，所述电离室包括腔体、送气管及灯丝，所述送气管和所述灯丝位于所述腔体内，所述送气管弯折形成封闭的框体，所述灯丝收容于所述框体内，所述灯丝通电时产生热电子，所述送气管面对所述灯丝的一侧设有出气孔，所述出气孔用于输出离子源气体，所述离子源气体撞击所述热电子，以产生等离子体。本发明还公布了一种离子植入设备和离子植入方法。由于离子源气体与热电子的碰撞均匀，产生于腔体内各位置的等离子体浓度均匀，提高了离子植入效果，在提高等离子体浓度均匀性的过程中减少调节灯丝的电流频率，提高了灯丝的寿命，延长了设备维护周期，降低了显示设备生产成本。

技术领域

本发明涉及显示器件制造技术领域，尤其是涉及一种电离室、离子植入设备及离子植入方法。

背景技术

显示设备已成为人们现代生活中的不可缺少的一部分，在显示设备的低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)薄膜晶体管和有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)的制程中，需要使用离子植入设备将等离子体植入到玻璃基板。在离子植入设备中，离子源气体通过送气管均匀的进入电离室，电离室内的灯丝通入电流后产生热电子，热电子与离子源气体发生碰撞形成等离子体。

现有技术中，离子植入设备的送气管都是多个接入电离室的单孔，单孔流出的离子源气体与各灯丝的接触不均匀，为了保证产生的等离子体的均匀性，需要调整流过灯丝的电流，但是这样导致通过灯丝的电流不均匀，电流过大使灯丝过早断裂，缩短了灯丝的寿命，导致设备维护周期缩短，提高了显示设备生产成本，故无法在保证灯丝的寿命的前提下提高等离子体的均匀性、提高离子植入效果。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种电离室、离子植入设备及离子植入方法，用以解决现有技术中灯丝的寿命短，设备维护周期短，显示设备生产成本高，故无法在保证灯丝的寿命的前提下提高等离子体的均匀性、提高离子植入效果的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种电离室，应用于离子植入设备，所述电离室包括腔体、送气管及灯丝，所述送气管和所述灯丝位于所述腔体内，所述送气管弯折形成封闭的框体，所述灯丝收容于所述框体内，所述灯丝通电时产生热电子，所述送气管面对所述灯丝的一侧设有出气孔，所述出气孔用于输出离子源气体，所述离子源气体撞击所述热电子，以产生等离子体。

进一步，所述出气孔的数量为多个，各所述出气孔的尺寸相同，并且所述出气孔的分布密度与所述出气孔与所述灯丝的距离负相关。

进一步，所述出气孔为单向气孔，向所述送气管输入所述离子源气体时，所述出气孔打开，所述离子源气体通过所述出气孔向所述送气管外流动，停止向所述送气管输入气体时，所述出气孔关闭，所述送气管内部与外界隔离。

进一步，所述灯丝与环绕包围所述灯丝的送气管形成等离子体发生组，所述等离子体发生组的数量为多个。

进一步，所述等离子体发生组中的所述灯丝的数量为多个，所述送气管同时环绕包围多个所述灯丝。

进一步，所述送气管还包括支管，所述支管连通所述送气管，所述支管位于所述等离子体发生组中相邻的所述灯丝之间，所述支管面对所述灯丝的一侧设有所述出气孔。

进一步，所述等离子体发生组中的所述灯丝的数量为一个，所述送气管对称环绕包围所述灯丝。

进一步，所述离子源气体为氟化硼气体或磷化氢气体。

本发明还提供一种离子植入设备，所述离子植入设备包括以上任意一项所述电离室。

本发明还提供一种离子植入方法，包括：

提供离子植入设备，所述离子植入设备包括电离室，所述电离室包括腔体、送气管及灯丝，所述送气管和所述灯丝位于所述腔体内，所述送气管环绕包围所述灯丝，并且所述送气管面对所述灯丝的一侧设有出气孔，