[发明专利]含有2‑咪唑烷硫酮化合物的铟电镀组合物和电镀铟的方法在审
申请号: | 201710496974.7 | 申请日: | 2017-06-26 |
公开(公告)号: | CN107630236A | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | Y·秦;K·弗拉伊斯里克;M·列斐伏尔 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
主分类号: | C25D3/54 | 分类号: | C25D3/54 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 陈哲锋,胡嘉倩 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含有 咪唑 烷硫酮 化合物 电镀 组合 方法 | ||
1.一种组合物,其包含一种或多种铟离子源、一种或多种2-咪唑烷硫酮化合物和柠檬酸、其盐或其混合物。
2.根据权利要求1所述的组合物,其中所述一种或多种2-咪唑烷硫酮化合物具有下式:
其中R1和R2独立地选自氢、直链或支链(C1-C12)烷基、直链或支链羟基(C1-C12)烷基、直链或支链(C1-C12)烷氧基、直链或支链(C3-C12)烯丙基、氨基、伯、仲或叔氨基(C1-C12)烷基、乙酰基和经取代或未经取代的芳基(C1-C12)烷基;R3、R4、R5和R6独立地选自氢、直链或支链(C1-C12)烷基、羟基、直链或支链羟基(C1-C12)烷基、伯、仲或叔氨基、芳基、直链或支链(C1-C12)烷氧基、伯、仲或叔氨基(C1-C12)烷基和乙酰基、芳基上的取代基包括(但不限于)直链或支链(C1-C5)烷基、羟基、羟基(C1-C5)烷基、(C1-C3)烷氧基和伯、仲和叔氨基(C1-C5)烷基。
3.根据权利要求2所述的组合物,其中所述一种或多种2-咪唑烷硫酮化合物选自2-咪唑烷硫酮、1,3-二甲基-2-咪唑烷硫酮、1-甲基-5-苯基-2-咪唑烷硫酮、1,3-二乙基-2-咪唑烷硫酮、1-甲基-2-咪唑烷硫酮、4,4-二甲基-2-咪唑烷硫酮、4,5-二甲基-2-咪唑烷硫酮、(4S)-4-甲基-2-咪唑烷硫酮、1-十二烷基-2-咪唑烷硫酮、1-丁基-5-(1-甲基乙基)-2-咪唑烷硫酮、1,3-二烯丙基-2-咪唑烷硫酮、1-乙酰基-3-烯丙基-2-咪唑烷硫酮、1-(2-氨基乙基)-2-咪唑烷硫酮、1-乙酰基-2-咪唑烷硫酮、4,5-二羟基-1-甲基-2-咪唑烷硫酮、1-(2-羟乙基)-2-咪唑烷硫酮、1,3-双(羟甲基)-2-咪唑烷硫酮、1-乙基-5-(4-甲氧苯基)-2-咪唑烷硫酮、1,3-二乙基-4,5-二羟基-4,5-二苯基-2-咪唑烷硫酮和1,3双[(环己基氨基)甲基]-2-咪唑烷硫酮。
4.根据权利要求1所述的组合物,其中所述一种或多种2-咪唑烷硫酮化合物以0.005g/l到5g/L的量包括于所述组合物中。
5.根据权利要求1所述的组合物,其中所述组合物进一步包含一种或多种氯离子源,其中所述氯离子与所述铟离子的摩尔比为2:1或更大。
6.根据权利要求5所述的组合物,其中氯离子与铟离子的所述摩尔比为2:1到7:1。
7.根据权利要求6所述的组合物,其中氯离子与铟离子的所述摩尔比为4:1到6:1。
8.根据权利要求1所述的组合物,其进一步包含选自以下的一种或多种表面活性剂:胺表面活性剂、乙氧基化萘酚、磺化萘酚聚醚、(烷基)酚乙氧基化物、磺化烷基烷氧基化物、烷二醇烷基醚和磺丙基化聚烷氧基化β-萘酚碱金属盐。
9.根据权利要求1所述的组合物,其进一步包含表卤代醇和一种或多种含氮有机化合物的反应产物的一种或多种共聚物。
10.一种方法,其包含:
a)提供包含金属层的衬底;
b)使所述衬底与包含一种或多种铟离子源、一种或多种2-咪唑烷硫酮化合物和柠檬酸、柠檬酸的盐或其混合物的铟电镀组合物接触;和
c)用所述铟电镀组合物将铟金属层电镀于所述衬底的金属层上。
11.根据权利要求10所述的方法,其中所述一种或多种2-咪唑烷硫酮化合物以0.005g/l到5g/L的量包括于所述铟电镀组合物中。
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