[发明专利]一种红外光电耦合器传输比调节方法有效

专利信息
申请号: 201710497406.9 申请日: 2017-06-26
公开(公告)号: CN107370484B 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 何振山;张丁 申请(专利权)人: 西安微电子技术研究所
主分类号: H03K19/0175 分类号: H03K19/0175;H01L25/16
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 徐文权
地址: 710065 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 红外 光电 耦合器 传输 调节 方法
【权利要求书】:

1.一种红外光电耦合器传输比调节方法,其特征在于,通过试验测量及计算传输比与红外接收管受光面积关系,确定所需控制的管芯受光面积,在红外接收管表面制作精确尺寸的屏蔽层,得到指定受光面积的红外接收管,在光电耦合器组装完成后即可实现不同数值的传输比,包括以下步骤:

S1、对采用不同表面遮盖面积红外接收管的光电耦合器进行传输测试,根据得到的光电耦合器传输比确定红外接收管的表面遮光面积与其组装的光电耦合器传输比关系;

S2、通过表面溅射工艺或电镀工艺,根据步骤S1得到的所述传输比关系,在红外接收管表面制作铝遮光层,然后通过光刻将遮光层面积刻蚀为所需要的传输比对应的遮光面积,在铝层表面制作钝化层;

S3、将红外发光管和红外接收管通过导电胶粘接在有通孔的厚膜基片对应位置上;

S4、将粘接了红外发光管与红外接收管的厚膜基片上下对准组装成品光电耦合器,外发光管与红外接收管之间的空间内不填充光导胶。

2.根据权利要求1所述的一种红外光电耦合器传输比调节方法,其特征在于,步骤S1中,所述红外接收管的放大倍数精度误差≤±10%,放大倍数为170~200。

3.根据权利要求1所述的一种红外光电耦合器传输比调节方法,其特征在于,步骤S2中,所述铝遮光层的厚度为1.5~2μm。

4.根据权利要求1所述的一种红外光电耦合器传输比调节方法,其特征在于,步骤S2中,所述铝遮光层的遮光面积分别为20%、50%和70%。

5.根据权利要求1所述的一种红外光电耦合器传输比调节方法,其特征在于,步骤S3中,所述红外发光管粘接的厚膜基片上的通孔连接了粘接导带与顶部电极,所述红外接收管粘接的厚膜基片上的通孔连接了粘接导带与底部电极。

6.根据权利要求1所述的一种红外光电耦合器传输比调节方法,其特征在于,步骤S4中,所述红外发光管与红外接收管的位置均相对固定。

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