[发明专利]高频电极以及包含其的马赫增德尔电光调制器在审
| 申请号： | 201710504887.1 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN109143719A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 刘亚东;储涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02F1/21 | 分类号： | G02F1/21;G02F1/225 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电光调制器 带通滤波器 高频电极 调制器 内臂 电极结构 调制电极 降低功耗 驱动电压 电光 干涉 调制 带宽 金属 | ||
【权利要求书】：
1.一种马赫-增德尔电光调制器高频电极，其特征在于，包括：
带通滤波器，设置于马赫增德尔干涉仪的至少一个内臂；
调制电极，与所述带通滤波器设置于马赫增德尔干涉仪的相同内臂，且位于带通滤波器的后端。
2.如权利要求1所述的高频电极，其特征在于，所述带通滤波器用于抑制低频段调制器的电光响应。
3.如权利要求1所述的高频电极，其特征在于，其中调制电极为行波电极，或者为集总电极。
4.如权利要求1所述的高频电极，其特征在于，所述带通滤波器和调制电极为片上结构。
5.如权利要求4所述的高频电极，其特征在于，所述带通滤波器和调制电极为一体化成型。
6.如权利要求1所述的高频电极，其特征在于，所述带通滤波器为共面波导传输线式带通滤波器，所述调制电极为共面波导传输线式调制电极。
7.根据权利要求1所述的高频电极，其特征在于，所述行波电极的微波输入口为GSG结构。
8.如权利要求1所述的高频电极，其特征在于，所述带通滤波器的电学响应和调制电极的电学响应互补匹配。
9.一种马赫增德尔电光调制器，包括马赫增德尔干涉仪和权利要求1-8任一所述的高频电极，所述高频电极设置于马赫增德尔干涉仪的一个内臂。
10.如权利要求9所述的马赫增德尔电光调制器，其特征在于，所述马赫增德尔电光调制器工作模式为单调制臂驱动、差分驱动、或是推挽工作。
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