[发明专利]用于高速图像获取的基于中介层的成像传感器及检验系统

权利要求书

1.一种基于中介层的图像感测装置，其包括：

至少一个中介层，其安置于衬底的表面上；

至少一个光感测阵列传感器，其安置于所述至少一个中介层上，所述至少一个光感测阵列传感器经背部薄化，所述至少一个光感测阵列传感器经配置用于背部照明，所述至少一个光感测阵列传感器包含多个像素列，所述至少一个中介层位于所述衬底和所述至少一个光感测阵列传感器之间；

至少一个模/数转换电路元件，其经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器的一个或多个输出转换为一个或多个数字信号，所述至少一个模/数转换电路制作于所述中介层上；以及

至少一个多路复用器，其操作地连接到所述中介层且经配置以结合来自所述至少一个模/数转换电路的所述一个或多个数字信号，所述中介层经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器与所述至少一个模/数转换电路进行电耦合。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个多路复用器制作于所述中介层上。

3.根据权利要求1所述的装置，其进一步包括至少一个驱动器电路元件，所述至少一个驱动器电路元件经配置以驱动时钟信号或所述至少一个光感测阵列传感器的控制信号中的至少一者，所述至少一个驱动器电路元件操作地连接到所述中介层。

4.一种基于中介层的图像感测装置，其包括：

至少一个中介层，其安置于衬底的表面上；

至少一个光感测阵列传感器，其安置于所述至少一个中介层上，所述至少一个光感测阵列传感器经背部薄化，所述至少一个光感测阵列传感器经配置用于背部照明，所述至少一个光感测阵列传感器包含多个像素列，所述至少一个中介层位于所述衬底和所述至少一个光感测阵列传感器之间；

至少一个缓冲器电路，其经配置以接受所述至少一个光感测阵列传感器的输出，所述至少一个缓冲器电路制作于所述中介层上；以及

至少一个相关双重取样模块，其操作地连接到所述中介层且经配置以接受来自所述至少一个缓冲器电路的一个或多个输出，所述中介层经配置以将每一缓冲器放置到接近于电耦合到所述中介层的所述至少一个光感测阵列传感器的输出。

5.根据权利要求4所述的装置，其进一步包括至少一个模/数转换电路元件，所述至少一个模/数转换器电路元件经配置以将所述至少一个双重相关取样模块中的一个或多个输出转换为一个或多个数字信号，所述至少一个模/数转换电路操作地连接到所述中介层。

6.一种检验系统，其包括：

照明源，其经配置以朝向安置于样本载台上的目标物体的表面引导照明；

检测器，所述检测器包括至少一个光感测阵列装置，所述至少一个光感测阵列装置包括：

安置于至少一个中介层上的至少一个经背部薄化的光感测阵列传感器，所述至少一个经背部薄化的光感测阵列传感器进一步经配置用于背部照明，所述至少一个中介层位于所述衬底与所述至少一个光感测阵列传感器之间；

至少一个模/数转换电路元件，其制作于所述至少一个中介层上，所述至少一个模/数转换电路经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器的一个或多个输出转换为一个或多个数字信号，所述至少一个光感测阵列装置进一步包括至少一个多路复用器，所述至少一个多路复用器可操作地连接到所述中介层且经配置以结合来自所述至少一个模/数转换电路的所述一个或多个数字信号；

一组聚焦光学器件，其经配置以将照明聚焦到所述目标物体的所述表面上；及

一组收集光学器件，其经配置以将从所述目标物体的所述表面反射的照明引导到所述检测器。

7.根据权利要求6所述的检验系统，其中所述检验系统包括明视场检验系统或暗视场检验系统中的至少一者。

8.根据权利要求6所述的检验系统，其中所述照明系统经配置以产生紫外UV光、深UV光、极远UV EUV光或真空UV光中的至少一者。

9.根据权利要求6所述的检验系统，其中所述至少一个中介层进一步包括：一个或多个驱动器电路元件。