[发明专利]具有垂直磁力异向性的磁性结构及其制备方法

权利要求书

1.一种具有垂直磁力异向性的磁性结构，其特征在于，包含有位于一基板与一第一氧化层间的一铁磁层，该铁磁层包含有：

(a)一第一铁磁子层；

(b)一第一非磁性层，为锶、钡的其中之一；

(c)一第二铁磁子层；并形成该第一铁磁子层/该第一非磁性层/该第二铁磁子层的结构。

2.如权利要求1所述的磁性结构，其特征在于，该基板为一第二氧化层，接触于该第一铁磁子层的底面，且该第一氧化层接触于该第二铁磁子层的顶面，形成该第二氧化层/该第一铁磁子层/该第一非磁性层/该第二铁磁子层/该第一氧化层的结构。

3.如权利要求2所述的磁性结构，其特征在于，该第一氧化层为一磁旋比增强层，该第二氧化层为一穿隧阻障层，该铁磁层为一下自旋阀结构的一自由层或一上自旋阀结构的一参考层。

4.如权利要求1所述的磁性结构，其特征在于，该第一铁磁子层以及该第二铁磁子层分别独立为铁、钴、镍、铁化钴、钴铁硼、硼化钴、硼化铁、硼镍铁钴中的一种或是两种以上前述元素、化合物或合金的组合物。

5.如权利要求1所述的磁性结构，其特征在于，该第一氧化层为硅、钡、钙、镧、锰、钒、铝、钛、锌、铪、镁、钽、硼、铜以及铬中的一种或是两种以上的组合物的氧化物。

6.如权利要求2所述的磁性结构，其特征在于，该第一氧化层与该第二氧化层分别独立为硅、钡、钙、镧、锰、钒、铝、钛、锌、铪、镁、钽、硼、铜以及铬中的一种或是两种以上的组合物的氧化物。

7.如权利要求1所述的磁性结构，其特征在于，该第一铁磁子层以及该第二铁磁子层分别独立具有4～14埃的厚度。

8.如权利要求1所述的磁性结构，其特征在于，该第一非磁性层具有3～5埃的厚度。

9.如权利要求1所述的磁性结构，其特征在于，该铁磁层还包含有一第二非磁性层与一第三铁磁子层，并形成该第一铁磁子层/该第一非磁性层/该第二铁磁子层/该第二非磁性层/该第三铁磁子层的结构。

10.如权利要求9所述的磁性结构，其特征在于，该基板为一第二氧化层，接触于该第一铁磁子层的底面，且该第一氧化层接触于该第三铁磁子层的顶面，形成该第二氧化层/该第一铁磁子层/该第一非磁性层/该第二铁磁子层/该第二非磁性层/该第三铁磁子层/该第一氧化层的结构。

11.如权利要求9所述的磁性结构，其特征在于，该铁磁层还包含有多个附加铁磁子层与非磁性层，而具有相互交错的总数为s层的铁磁子层与s-1层的非磁性子层，形成该第一铁磁子层/该第一非磁性层/该第二铁磁子层/该第二非磁性层/该第三铁磁子层/…/第s-1个非磁性层/第s个铁磁子层的结构，其中s大于等于5。

12.一种具有垂直磁力异向性的磁性结构，其特征在于，包含有位于一非铁磁金属层与一第一氧化层间的一铁磁层，该铁磁层包含有：

(a)一第一铁磁子层；

(b)一第一非磁性层，为锶、钡的其中之一；

(c)一第二铁磁子层；并形成该第一铁磁子层/该第一非磁性层/该第二铁磁子层的结构。

13.如权利要求12所述的磁性结构，其特征在于，该第一氧化层接触于该第一铁磁子层的底面，该非铁磁金属层接触于该第二铁磁子层的顶面，形成该第一氧化层/该第一铁磁子层/该第一非磁性层/该第二铁磁子层/该非铁磁金属层的结构。