[发明专利]一种外延层剥离装置及剥离方法有效

专利信息
申请号: 201710509575.X 申请日: 2017-06-28
公开(公告)号: CN107424944B 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 兰立广 申请(专利权)人: 紫石能源有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京正和明知识产权代理事务所(普通合伙) 11845 代理人: 李建刚
地址: 102208 北京市昌平区*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 外延 剥离 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种外延层剥离装置,用于依次包含有衬底、牺牲层、外延层和支撑层的待剥离件的外延层剥离,其特征在于,所述装置包括上端开口的盒体,所述盒体底部设置有弹性缓冲结构;所述待剥离件放置于所述弹性缓冲结构上方时,所述待剥离件的所述支撑层边沿位于所述盒体侧壁上;

所述弹性缓冲结构包括弹性缓冲块和在所述弹性缓冲块上方水平放置的轻质支撑块;所述盒体内壁上设置的限位槽,所述轻质支撑块可沿所述限位槽在所述盒体内上下移动。

2.根据权利要求1所述的外延层剥离装置,其特征在于,所述盒体侧壁的顶部沿其厚度具有向内倾斜的支撑面。

3.根据权利要求1所述的外延层剥离装置,其特征在于,所述的弹性缓冲结构为与所述盒体一体或分离的弹性缓冲块。

4.根据权利要求1所述的外延层剥离装置,其特征在于,所述装置还包括可放置在所述待剥离件的所述支撑层上方的压块。

5.根据权利要求1所述的外延层剥离装置,其特征在于,所述盒体的侧壁和/或底壁上设置有可供腐蚀液进入的孔。

6.根据权利要求1所述的外延层剥离装置,其特征在于,所述限位槽位于所述盒体内部中间位置。

7.根据权利要求1或3所述的外延层剥离装置,其特征在于,所述弹性缓冲块为含氟材料的多孔结构弹性体。

8.一种根据权利要求1至7之任一项所述的外延层剥离装置的外延层剥离方法,其特征在于,所述方法包括:

(1)将所述待剥离件放置于所述盒体底部的所述弹性缓冲结构上方,使所述待剥离件的所述支撑层边沿位于所述盒体侧壁上;

(2)将所述外延层剥离装置连同所述待剥离件一起浸没于腐蚀液中,进行所述待剥离件的所述牺牲层的腐蚀,从而实现所述待剥离件的所述外延层与所述衬底之间的分离。

9.根据权利要求8所述的外延层剥离方法,其特征在于,该方法还包括:

在所述待剥离件的所述支撑层的上方放置压块。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于紫石能源有限公司,未经紫石能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710509575.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top