[发明专利]铟电镀组合物和用于电镀铟的方法有效
| 申请号： | 201710512994.9 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107630238B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | Y·秦;K·弗拉伊斯里克;M·列斐伏尔 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C25D3/54 | 分类号： | C25D3/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电镀 组合 用于 方法 | ||
1.一种组合物，其包含一种或多种铟离子源、硫脲和硫脲衍生物中的一种或多种以及柠檬酸、其盐或其混合物，其中，所述硫脲和硫脲衍生物中的一种或多种选自甲脒硫脲、1-烯丙基-2-硫脲和四甲基-2-硫脲。
2.根据权利要求1所述的组合物，其中所述硫脲和硫脲衍生物中的一种或多种以0.01g/L到50g/L的量包括于所述组合物中。
3.根据权利要求1所述的组合物，其中所述组合物进一步包含一种或多种氯离子源，其中所述氯离子与所述铟离子的摩尔比是2:1或更大。
4.根据权利要求3所述的组合物，其中氯离子与铟离子的摩尔比是2:1到7:1。
5.根据权利要求4所述的组合物，其中氯离子与铟离子的摩尔比是4:1到6:1。
6.根据权利要求1所述的组合物，其进一步包含选自以下的一种或多种表面活性剂：胺表面活性剂、乙氧基化萘酚、磺化萘酚聚醚、(烷基)酚乙氧基化物、磺化烷基烷氧基化物、烷二醇烷基醚和磺丙基化聚烷氧基化β-萘酚碱金属盐。
7.根据权利要求1所述的组合物，其进一步包含表卤代醇与一种或多种含氮有机化合物的反应产物的一种或多种共聚物。
8.一种方法，其包含：
a)提供包含金属层的衬底；
b)使所述衬底与铟电镀组合物接触，所述铟电镀组合物包含一种或多种铟离子源、硫脲和硫脲衍生物中的一种或多种以及柠檬酸、柠檬酸盐或其混合物，其中，所述硫脲和硫脲衍生物中的一种或多种选自甲脒硫脲、1-烯丙基-2-硫脲和四甲基-2-硫脲；和
c)使用所述铟电镀组合物在所述衬底的所述金属层上电镀铟金属层。
9.根据权利要求8所述的方法，其中所述硫脲和硫脲衍生物中的一种或多种以0.01g/L到50g/L的量包括于所述铟电镀组合物中。
10.根据权利要求8所述的方法，其中所述铟电镀组合物进一步包含一种或多种氯离子源，其中所述氯离子与所述铟离子的摩尔比是2:1或更大。
11.根据权利要求8所述的方法，其中所述金属层是镍、铜、金或锡。
12.根据权利要求11所述的方法，其中所述金属层是镍。
13.根据权利要求8所述的方法，其中所述金属层是10nm到100μm厚。
14.根据权利要求8所述的方法，其中所述铟金属层是10nm到100μm厚。
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