[发明专利]一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法在审
申请号: | 201710522737.3 | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN107275419A | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 顾生刚;佟丽国;张小芳;张艳霞 | 申请(专利权)人: | 北京市合众创能光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市夏成专利事务所(普通合伙)32233 | 代理人: | 沈毅 |
地址: | 102200 北京市昌*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶硅光伏 电池 正面 电极 制备 方法 | ||
1.一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法,其特征在于:该方法包括,
第一步、将丝网印刷感光银浆形成电极并烘干;
第二步、在电池上方遮盖有电极图形的掩膜版,使用紫外光源进行照射,将需要留存的部分固化、留存的部分为电极图形的任何一部分,不需要留存的部分未固化、未曝光固化而需要清洗掉的部分为电极图形的任何一部分;
第三步、使用感光银浆显影液对电极栅线未固化部分清洗;
第四步、烧结形成电极栅线。
2.如权利要求1所述的一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法,其特征在于:所述第一步中的感光银浆为的正性或者负性感光银浆,印刷的感光银浆的厚度在5μm~30μm之间。
3.如权利要求1所述的一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法,其特征在于:所述第二步中紫外光源为光波长为200nm~400nm之间的紫外光,光源可以为点光源、线光源或者平行光源。
4.如权利要求1所述的一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法,其特征在于:所述第二步中掩膜版为玻璃版、石英版、或者菲林版,掩膜版电极图形细栅线宽度为5um~30um之间。
5.如权利要求1所述的一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法,其特征在于:所述第二步中留存的部分为细栅线电极的中间部分。
6.如权利要求1所述的一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法,其特征在于:所述第二步中未固化的部分为细栅线电极的两侧边缘部分。
7.如权利要求1所述的一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法,其特征在于:所述第二步中曝光时间为5秒~500秒。
8.如权利要求1所述的一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法,其特征在于:所述第三步中显影液为感光银浆对应的显影液。
9.如权利要求8所述的一种晶硅光伏电池正面电极的制备方法,其特征在于:所述显影液为碳酸钠溶液,清洗时间为5秒~500秒,清洗方式为浸泡或者喷淋的方式。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的