[发明专利]一种静电卡盘

权利要求书

1.一种静电卡盘，包括：

主体，所述主体耦合到支撑杆，所述主体具有基板支撑表面；

肩部，所述肩部从所述主体的基板支撑表面突出，其中绕所述主体的周边设置所述肩部；

内部电极，所述内部电极嵌入在所述主体内，所述内部电极从所述主体的中心径向地延伸到邻近所述肩部的区域；以及

外部电极，所述外部电极嵌入在所述主体内，所述外部电极径向地设置在所述内部电极的外部，并且所述外部电极相对地设置在所述内部电极上方的一高度处。

2.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述内部电极径向地延伸至超出将设置在所述基板支撑表面上的基板的边缘的区域。

3.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述外部电极在所述肩部下方径向地延伸。

4.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述主体包括氮化铝或氧化铝。

5.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述内部电极和外部电极连接至公共电源。

6.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述公共电源是RF电源、DC电源或它们的组合。

7.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述内部电极连接至第一电源，并且所述外部电极连接至第二电源，其中所述第一电源和所述第二电源中的每一个包括RF电源、DC电源或它们的组合。

8.如权利要求7所述的静电卡盘，其特征在于，所述第一电源是DC电源，并且所述第二电源是RF电源。

9.如权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，进一步包括：

一个或多个加热元件，所述一个或多个加热元件嵌入在所述主体中，其中沿着与所述内部电极相同的平面设置所述加热元件。

10.一种静电卡盘，包括：

主体，所述主体耦合到支撑杆，所述主体具有基板支撑表面；

多个突片，所述多个突片从所述主体的基板支撑表面突出，其中环绕所述主体的周边设置所述多个突片；

内部电极，所述内部电极嵌入在所述主体内，所述内部电极从所述主体的中心径向地延伸到邻近所述突片的区域；以及

外部电极，所述外部电极嵌入在所述主体内，所述外部电极径向地设置在所述内部电极的外部，其中所述外部电极从邻近所述突片的区域径向地延伸至所述主体的周边，并且所述外部电极设置在所述内部电极上方。

11.如权利要求10所述的静电卡盘，其特征在于，所述主体包括氮化铝或氧化铝。

12.如权利要求10所述的静电卡盘，其特征在于，所述内部电极和外部电极连接至公共电源。

13.如权利要求12所述的静电卡盘，其特征在于，所述公共电源是RF电源、DC电源或它们的组合。

14.如权利要求10所述的静电卡盘，其特征在于，所述内部电极连接至第一电源，并且所述外部电极连接至第二电源，其中所述第一电源和所述第二电源中的每一个包括RF电源、DC电源或它们的组合。

15.如权利要求14所述的静电卡盘，其特征在于，所述第一电源是DC电源，并且所述第二电源是RF电源。

16.如权利要求10所述的静电卡盘，其特征在于，进一步包括：

边缘环，所述边缘环绕所述多个突片，其中所述边缘环由具有与将设置在所述基板支撑表面上的基板的介电常数类似的介电常数的材料制成。

17.如权利要求16所述的静电卡盘，其特征在于，所述边缘环成形为梯形且具有相对于所述基板支撑表面成大约10°至90°的角的斜坡。

18.如权利要求16所述的静电卡盘，其特征在于，所述边缘环与所述多个突片之间的距离为大约0.060英寸至大约0.500英寸。

19.如权利要求16所述的静电卡盘，其特征在于，所述多个突片与所述基板的边缘之间的距离为大约0.040英寸至大约0.050英寸。

20.如权利要求16所述的静电卡盘，其特征在于，所述边缘环包括：石英、氮化铝(AlN)、氧化铝(Al₂O₃)、氮化硅(SiN)、含有钇的材料、氧化钇(Y₂O₃)、钇铝石榴石(YAG)、氧化钛(TiO)、氮化钛(TiN)、碳化硅(SiC)、ASMY(氧化铝硅镁钇)、由Y₄Al₂O₉(YAM)的化合物和Y_2-xZr_xO₃的固体溶液(Y₂O₃-ZrO₂固体溶液)构成的高性能材料(HPM)、氧化镁(MgO)、氧化锆(ZrO₂)、碳化钛(TiC)、碳化硼(B_xC_y)或氮化硼(BN)。