[发明专利]一种光配向装置及方法有效
申请号: | 201710524594.X | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN109212837B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 戴乐薇;李玉龙;张鹏黎 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 方法 | ||
1.一种光配向装置,其特征在于,包括至少一组照明单元,每组所述照明单元包括两个相对基板对称设置的光源,每组所述照明单元中两个光源同时入射至基板的同一区域,至少有一组所述照明单元中光源的照明区域覆盖所述基板的上表面;所述照明单元设有两组,分别为第一照明单元和第二照明单元,所述第一照明单元与所述第二照明单元光束的倾斜入射角度不同;所述第二照明单元中光源的照明区域为所述基板上表面中心。
2.根据权利要求1所述的光配向装置,其特征在于,所述光源相对所述基板倾斜设置。
3.根据权利要求1所述的光配向装置,其特征在于,每组所述照明单元包括第一子照明单元和第二子照明单元,第一子照明单元和/或第二子照明单元的光源可以是激光光源或白光光源。
4.根据权利要求3所述的光配向装置,其特征在于,还包括光学整形单元。
5.根据权利要求4所述的光配向装置,其特征在于,所述光学整形单元可以包括扩束准直透镜。
6.根据权利要求4所述的光配向装置,其特征在于,所述光学整形单元可以包括偏振模块。
7.根据权利要求2所述的光配向装置,其特征在于,所述光源的投射至基板上的配向光束的宽度L、倾斜入射角度θ和基板的宽度W之间满足关系:W=L/sinθ。
8.根据权利要求1所述的光配向装置,其特征在于,所述第一照明单元中第一光源和/或所述第二照明单元中第二光源投射至基板上的配向光束的宽度L、倾斜入射角度θ和基板的宽度W之间满足关系:W=L/sinθ。
9.一种光配向方法,其特征在于,用于光配向装置,所述光配向装置包括至少一组照明单元,每组所述照明单元包括两个相对基板对称设置的光源;所述光配向方法包括:使用每组所述照明单元中两个光源同时入射至基板的同一区域,至少有一组所述照明单元中光源的照明区域覆盖所述基板的上表面;且至少一组所述照明单元在所述基板待配向区的照射能量的总和分布均匀;控制不同组的所述照明单元光束的倾斜入射角度不同;至少有一组所述照明单元中光源的照明区域为所述基板待配向区域上表面中心。
10.根据权利要求9所述的光配向方法,其特征在于,每组所述照明单元的子照明单元可以是激光照明单元和/或白光照明单元。
11.根据权利要求9所述的光配向方法,其特征在于,所述照明单元发出的光束经过光学整形后照射至所述基板。
12.根据权利要求11所述的光配向方法,其特征在于,所述光学整形可以是扩束准直整形和/或偏振态整形。
13.根据权利要求9所述的光配向方法,其特征在于,至少有一组所述照明单元,投射至基板上的配向光束的宽度L、倾斜入射角度θ和基板的宽度W之间满足关系:W=L/sinθ。
14.根据权利要求9所述的光配向方法,其特征在于,所述照明单元设有两组,分别为第一照明单元和第二照明单元,所述第一照明单元位于所述第二照明单元的两侧,所述第一照明单元中第一光源进行准直扩束和偏振处理后投射至基板上的配向光束的宽度L、倾斜入射角度θ和基板的宽度W之间满足关系:W=L/sinθ。
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