[发明专利]一种等离子改进制备亚纳米球形硅微粉的方法在审
| 申请号： | 201710525404.6 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107285322A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 唐健江 | 申请（专利权）人： | 苏州吉云新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)32267 | 代理人： | 马广旭 |
| 地址： | 215412 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 改进 制备 纳米 球形 硅微粉 方法 | ||
1.一种等离子改进制备亚纳米球形硅微粉的方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）、硅粉研磨：选取高纯度硅粉，浸入研磨液，在研磨盘研磨2.5~4h，得到细硅粉，彻底清洗除去研磨液；
（2）、筛分：多级筛盘筛分细硅粉，选取50-300目的细硅粉，置入等离子反应炉中；
（3）、预反应：等离子反应炉抽真空至1~3Pa，电加热到300~525℃，保持10~15min；
（4）、反应：向等离子反应炉充入氩气，等离子反应炉先以15~20℃/min、再以7.5~12℃/min、最后以3~5℃/min的速率升温至1420-1470℃，升温后总压力为2.4~7.0MPa，待细硅粉熔融，保持3~12min，而后迅速充入氧气；
（5）、冷却：充入氧气后的熔融细硅粉迅速成为二氧化硅微尘，用引风装置被带入骤冷器进行冷却，形成球形微粒，用布袋、旋风或者静电集尘，得到高纯度、亚纳米球形硅微粉。
2.根据权利要求1所述的一种等离子改进制备亚纳米球形硅微粉的方法，其特征在于，步骤（2）中，筛分的硅粉粒度范围为70-250目。
3.根据权利要求1所述的一种等离子改进制备亚纳米球形硅微粉的方法，其特征在于，步骤（4）中，升温后最终温度为1446~1452℃。
4.根据权利要求1所述的一种等离子改进制备亚纳米球形硅微粉的方法，其特征在于，步骤（3）中，氧充入完毕瞬间的体积分数为7.5~18%。
5.根据权利要求1所述的一种等离子改进制备亚纳米球形硅微粉的方法，其特征在于，所述等离子反应炉内具有磁力调节装置。
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