[发明专利]一种将两面通透的超薄氧化铝模板移植到任意固体衬底上的方法在审
| 申请号： | 201710525582.9 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107268059A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 赵艳;徐佳宇;冯超;闫胤洲;曾勇;蒋毅坚 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C25D11/12 | 分类号： | C25D11/12;C25D11/18 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 两面 通透 超薄 氧化铝 模板 移植 任意 固体 衬底 方法 | ||
1.一种将两面通透的超薄氧化铝模板移植到任意固体衬底上的方法，利用二次阳极氧化法制备超薄氧化铝模板，将超薄氧化铝模板移植到衬底表面，其特征在于，包含以下步骤：(1)利用滴管吸取配置好的PMMA溶液，并将滴管内的PMMA溶液置于衬底上形成PMMA溶液浸润衬底表面；(2)将带有铝基的超薄氧化铝模板的超薄氧化铝模板一面置于带有PMMA溶液的衬底表面；(3)等待PMMA溶液中溶剂蒸发后在中间部分形成空隙，使得带有铝基的超薄氧化铝模板直接置于衬底上，即使得带有铝基的超薄氧化铝模板周围通过PMMA连着衬底；(4)将带有铝基的超薄氧化铝模板置入去铝基液中，将背面的铝腐蚀掉，使得衬底表面不带有铝基、背面带有氧化铝阻挡层；(5)用滴管吸取去阻挡层液，并将滴管内的去阻挡层液置于超薄氧化铝模板背面，将超薄氧化铝模板背面的氧化铝阻挡层腐蚀，在衬底上得到两面通透的厚度为400-500nm的超薄氧化铝模板。
2.根据权利要求1所述的一种将两面通透的超薄氧化铝模板移植到任意固体衬底上的方法，其特征在于：配置所述的PMMA溶液的溶剂为丙酮；PMMA的浓度为5wt％-6wt％。
3.根据权利要求1所述的一种将两面通透的超薄氧化铝模板移植到任意固体衬底上的方法，其特征在于：所述去铝基液为在氯化铜的饱和水溶液中加入高氯酸，高氯酸的浓度为10wt％。
4.根据权利要求1所述的一种将两面通透的超薄氧化铝模板移植到任意固体衬底上的方法，其特征在于：所述去阻挡层液为浓度为6wt％磷酸的水溶液。
5.根据权利要求1所述的一种将两面通透的超薄氧化铝模板移植到任意固体衬底上的方法，其特征在于：所述超薄氧化铝模板的去阻挡层时间为80-120min。
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