[发明专利]一种软性薄膜压力传感器在审
| 申请号： | 201710528899.8 | 申请日： | 2017-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN107340082A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 熊作平;张珽;谷文;井华;王冉 | 申请（专利权）人： | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 滕诣迪 |
| 地址： | 215123 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 软性 薄膜 压力传感器 | ||
1.一种软性薄膜压力传感器，其特征在于：包括第一软性衬底(1)、第一电极层(2)、第一压敏层(3)、支撑层(4)、第二软性衬底(5)、第二电极层(6)和第二压敏层(7)，所述第一压敏层(3)、第一电极层(2)和第一软性衬底(1)依次连接，所述第二压敏层(7)、第二电极层(6)和第二软性衬底(5)依次连接；还包括支撑层(4)，所述支撑层(4)位于第一软性衬底(1)和第二软性衬底(5)之间且将第一压敏层(3)和第二压敏层(7)固定，所述第一压敏层(3)和第二压敏层(7)之间存在间隙。
2.根据权利要求1所述的软性薄膜压力传感器，其特征在于：所述支撑层(4)为薄片状且位第一软性衬底(1)和第二软性衬底(5)之间。
3.根据权利要求1所述的软性薄膜压力传感器，其特征在于：所述支撑层(4)为环状支撑物，所述第一压敏层(3)和第二压敏层(7)分别位于支撑层(4)的上端和下端。
4.根据权利要求1所述的软性薄膜压力传感器，其特征在于：所述支撑层(4)为条状物且位于第一压敏层(3)和第二压敏层(7)的侧面。
5.根据权利要求1所述的软性薄膜压力传感器，其特征在于：所述第一软性衬底(1)和第二软性衬底(5)由乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚乙烯醇、聚二甲基硅氧烷、聚对苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚酰亚胺和聚乙烯等材料中的至少一种制成。
6.根据权利要求1所述的软性薄膜压力传感器，其特征在于：所述第一压敏层(3)和第二压敏层(7)为具有三维孔状微结构的海绵状。
7.根据权利要求1所述的软性薄膜压力传感器，其特征在于：所述第一压敏层(3)和第二压敏层(7)由纳米复合压敏材料制成，所述纳米复合压敏材料包括导电材料、高分子材料、分散体和助剂。
8.根据权利要求1所述的软性薄膜压力传感器，其特征在于：所述第一压敏层(3)和第二压敏层(7)的厚度1μm—500μm。
9.根据权利要求1所述的软性薄膜压力传感器，其特征在于：所述第二电极层(6)还可设在第一软性衬底(1)上，还包括导电层(8)，所述导电层(8)设在第二软性衬底(5)上。
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