[发明专利]组合两个很宽地分离的波长的信号的绝对位置编码器有效

专利信息
申请号: 201710532081.3 申请日: 2017-07-03
公开(公告)号: CN107560642B 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: T.S.库克 申请(专利权)人: 株式会社三丰
主分类号: G01D5/243 分类号: G01D5/243
代理公司: 11105 北京市柳沈律师事务所 代理人: 史新宏
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 计量器 检测器 信号调制 周期性图案 空间波长 图案 绝对位置编码器 信号处理配置 感测元件 绝对位置 信号确定 测量轴 波长 精细 响应 延伸 配置
【权利要求书】:

1.一种电子绝对位置编码器,包括:

计量器,其沿着测量轴方向延伸并且包括沿着所述测量轴方向限定对应绝对范围R的信号调制计量器图案,所述信号调制计量器图案包括:具有空间波长λC的作为沿着所述计量器的位置的函数的粗略周期性图案组件,其中,n*λC=R并且n是整数;以及具有空间波长λF的作为沿着所述计量器的位置的函数的精细周期性图案组件,其中,(mn+1)*λF=R并且m是至少为2的整数;

检测器,其包括沿着所述测量轴方向所布置的感测元件,所述感测元件被配置为:提供对所述信号调制计量器图案进行响应的检测器信号;以及

信号处理配置,其基于所述检测器所提供的所述检测器信号确定所述检测器沿着所述计量器的绝对位置,

其中:

所述信号处理配置被配置为:处理所述检测器信号,并且确定用于包括归因于所述粗略周期性图案组件导致的信号影响而且不包括或抑制归因于所述精细周期性图案组件导致的显著信号影响的信号或信号分量的粗略波长空间相位测度Pc;

所述信号处理配置进一步被配置为:处理所述检测器信号,并且确定用于包括归因于所述精细周期性图案组件导致的信号影响而且不包括或抑制归因于所述粗略周期性图案组件导致的显著信号影响的信号或信号分量的精细波长空间相位测度Pf;以及

所述信号处理配置被配置为:基于所述粗略波长空间相位测度Pc和所述精细波长空间相位测度Pf确定所述绝对范围R内的所述感测元件相对于所述计量器的绝对位置。

2.如权利要求1所述的电子绝对位置编码器,其中,所述信号处理配置被配置为:基于差Pf-(m*Pc)确定所述绝对范围R内的所述感测元件相对于所述计量器的绝对位置。

3.如权利要求1所述的电子绝对位置编码器,其中:

所述信号调制计量器图案包括包含所述粗略周期性图案组件而非所述精细周期性图案组件的第一计量器轨道以及包含所述精细周期性图案组件而非所述粗略周期性图案组件的第二计量器轨道;以及

所述检测器包括沿着所述第一计量器轨道所布置的第一感测元件集合,以提供受处理以确定所述粗略波长空间相位测度Pc的信号集合,

所述检测器包括沿着所述第二计量器轨道所布置的第二感测元件集合,以提供受处理以确定所述精细波长空间相位测度Pf的信号集合。

4.如权利要求1所述的电子绝对位置编码器,其中:

所述信号调制计量器图案包括包含沿着计量器轨道所组合的所述粗略周期性图案组件和所述精细周期性图案组件的所述计量器轨道;以及

所述感测元件的数量为至少5个,其提供至少5个信号的集合,其中,所述至少5个感测元件沿着所述测量轴方向按某间隔被布置,从而根据第一关系处理所述至少5个信号的集合提供包括归因于所述粗略周期性图案组件导致的信号影响并且抑制归因于所述精细周期性图案组件导致的显著信号影响的信号分量,并且根据第二关系处理所述至少5个信号的集合提供包括归因于所述精细周期性图案组件导致的信号影响并且抑制归因于所述粗略周期性图案组件导致的显著信号影响的信号分量。

5.如权利要求4所述的电子绝对位置编码器,其中,所述粗略周期性图案组件和所述精细周期性图案组件叠加。

6.如权利要求4所述的电子绝对位置编码器,其中,所述粗略周期性图案组件和所述精细周期性图案组件放置得彼此相邻。

7.如权利要求4所述的电子绝对位置编码器,其中,所述检测器的所述感测元件线性地成阵列,以形成单轨道检测器。

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