[发明专利]用于图像扫描的方法和装置

权利要求书

1.一种估计图像扫描装置中的目标的焦点对准水平的方法，其中所述图像扫描装置包括第一行扫描检测器和第二行扫描检测器，所述第一行扫描检测器被构造成获得所述目标的一个或多个图像扫描行，所述第二行扫描检测器被构造成获得所述目标的一个或多个焦点扫描行，所述方法包括：

利用所述第一行扫描检测器来获得所述目标的至少一个图像扫描行，至少一个图像扫描行中的每一者是在相应的焦点水平处获得的；

利用所述第二行扫描检测器来获得所述目标的至少一个焦点扫描行，至少一个焦点扫描行中的每一者是在相应的焦点水平处获得的，并且其中所述至少一个图像扫描行的焦点水平不同于所述至少一个焦点扫描行的焦点水平；

至少利用所述至少一个焦点扫描行来计算至少一个焦点参数；以及

利用计算出的焦点参数来估计所述目标的标称焦点对准水平；

其中所述图像扫描行和焦点扫描行是从所述目标中的不同位置获得的，并且图像信息是利用所述第一行扫描检测器和所述第二行扫描检测器从所述目标沿着不同光轴获得的，从而生成相应的图像扫描行和焦点扫描行；

其中利用反射镜将图像信息反射到所述第二行扫描检测器；以及

其中所述反射镜旋转以提供处于不同焦点水平的所述目标的焦点扫描行，所述反射镜绕着定心于所述第二行扫描检测器的光轴上的点旋转，或者所述反射镜绕着从所述第二行扫描检测器的光轴偏移的点旋转。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括利用所述至少一个图像扫描行或另外地所述焦点扫描行来计算至少一个另外的焦点参数的步骤。

3.根据权利要求1所述的方法，其中计算步骤包括利用相应的至少一个图像扫描行和至少一个焦点扫描行来计算所述第一行扫描检测器和第二行扫描检测器中的每一者的至少一个焦点参数。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中获得至少一个焦点扫描行的步骤包括：调制所述第二行扫描检测器的焦点水平，使得在不同焦点水平处获得多个焦点扫描行。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中图像扫描行和焦点扫描行是从穿过所述目标且具有平面法线的平面内的共同位置获得的，所述平面法线限定光轴，所述第一行扫描检测器和所述第二行扫描检测器中的每一者沿着所述光轴接收图像信息从而生成所述相应的图像扫描行和焦点扫描行。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，还包括：使所述目标依照所述反射镜的旋转而移动，使得从所述目标上的共同位置获得所述焦点扫描行。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，还包括：使所述第二行扫描检测器相对于所述目标移动从而获得处于不同焦点水平的多个焦点扫描行。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，还包括：旋转所述第二行扫描检测器以调制所述焦点水平作为在所述第二行扫描检测器的整个扫描行上的位置的函数。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，还包括：利用来自所述至少一个焦点扫描行或图像扫描行中的一者或每一者的图像数据来生成细节参数；并且在计算所述焦点参数时使用所述细节参数。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中当所述行扫描检测器是多通道检测器时，所述方法包括计算所述检测器的不同通道的焦点对准水平，在估计步骤中评估每个通道的焦点参数并且使用所述通道的一个或多个焦点参数。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，还包括：使所述第二行扫描检测器沿着所述第二行扫描检测器的光轴来回移动，以在所述第一行扫描检测器的所述焦点水平的共轭平面之上以及之下的不同焦点水平获得多个焦点扫描行的聚焦评价值，其中所述聚焦评价值具有表示焦点对准水平的最大值。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述至少一个焦点参数是具有表示焦点对准水平的最大值的聚焦评价值。