[发明专利]一种基于感性耦合原理的元器件在线特性测量方法及测量装置

权利要求书

1.一种基于感性耦合原理的元器件在线特性测量方法，其特征在于，具体过程为：

步骤一，将VNA上的两个端口Port1、Port2分别通过同轴线缆连接注入探针、拾取探针，VNA上的端口Port3通过同轴线缆连接SMA连接器；

步骤二，串接导线一端接至SMA连接器的中间信号管脚，另一端接至SMA连接器的四个地管脚之一，构成预校准装置；通过注入探针、拾取探针与串接导线的感性耦合，实现预校准装置S参数测试；

步骤三，令VNA上的端口Port3开路，将串接导线、注入探针及拾取探针置于待测元器件电路环路中，构成测试装置；通过注入探针、拾取探针与串接导线的感性耦合，实现测试装置S参数测试；

步骤四，根据预校准装置和测试装置所测得的S参数，拟合得出待测器件的在线特性。

2.根据权利要求1所述基于感性耦合原理的元器件在线特性测量方法，其特征在于，所述步骤四的具体过程为：

首先，根据预校准装置和测试装置所测得的S参数，计算待测元器件在线频域阻抗测试Z_dut：

Zdut=S31S23+(1+S33)(S^21-S21)S31S23+(S33-1)(S^21-S21)---(4)]]>

其中，S_mn为预校准装置S参数中第m行第n列的元素，S^_mn为测试装置S参数中第m行第n列的元素；

其次，根据所述测元器件在线频域阻抗测试Z_dut，根据DUT的电器模型拟合出期间的在线特性。

3.一种多层陶瓷电容的直流电压偏置特性测量装置，其特征在于，包括直流电源DC、电感Ls、2个待测多层陶瓷电容C_dut、VNA及串接导线，其中两个待测多层陶瓷电容C_dut并联后的一端通过电感Ls连接直流电源DC，并联后的另一端直接连接直流电源DC，串接导线串接在两个待测多层陶瓷电容C_dut之间，VNA上的注入探针、拾取探针与所述串接导线耦合连接；

Z_Cdut＜＜Z_Ls+Z_VRM(5)

其中，Z_Cdut和Z_Ls为待测多层陶瓷电容C_dut和电感Ls的频域阻抗，Z_VRM为直流电源的频域阻抗。

4.一种电感的直流电压偏置特性测量装置，其特征在于，包括待测电感L_dut、直流电源DC、负载R_L、电容C₀、VNA及串接导线，电容C₀连接在直流电源DC的两端、待测电感L_dut与负载R_L串联后连接在直流电源DC的两端；串接导线串接在待测电感L_dut与负载R_L之间，VNA上的注入探针、拾取探针与所述串接导线耦合连接；

ZLdut>>zVRM*zC0zVRM+zC0---(6)]]>

这里，Z_Ldut和Z_C0为待测电感L_dut和电容C₀的频域阻抗，Z_VRM为直流电源的频域阻抗。