[发明专利]用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用有效

申请号：	201710533744.3	申请日：	2017-07-03
公开（公告）号：	CN107227449B	公开（公告）日：	2023-10-03
发明（设计）人：	井治;刘锐;葛治亮;张超群;王程;王贝;邓君	申请（专利权）人：	中国建材国际工程集团有限公司
主分类号：	C23C14/56	分类号：	C23C14/56;C23C14/35
代理公司：	上海光华专利事务所(普通合伙) 31219	代理人：	张新鑫;许亦琳
地址：	200063 上海市普***	国省代码：	上海;31
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摘要：
搜索关键词：	用于生产镀膜玻璃装置及其应用
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【说明书】：

技术领域

镀膜装置本发明涉及一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用，属于机械领域。

背景技术

镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。

其生产方法主要是利用磁控溅射镀膜设备在玻璃上进行溅射镀膜。对于磁控溅射镀膜设备来说，包含许多组成部分，其中最主要的就是镀膜装置。镀膜装置内部是处在高真空环境中。镀膜玻璃产品质量的好坏与镀膜装置的配置、内部真空环境、工艺气体稳定性等因素有很大的关系。环境的真空度越高，则镀膜的效果也越好。

现有技术中存在镀膜装置安装复杂，灵活性差，隔离系数低，真空环境差、冷却效果低等问题，例如，每个隔离腔室中所要安装的元件都是固定的，无法随意的拆分，当整个设备需要有所变化时，则无形中给用户增加不必要的人力、物力和时间等成本。隔离系数低、真空环境差、冷却效果低会严重影响制备的膜层质量。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用，用于解决现有技术中镀膜装置无法实现随意安装隔离腔室中的工作单元、隔离系数低，真空环境差等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，所述镀膜装置包括传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、至少3个隔离腔室，以及阴极靶材；

其中3个所述隔离腔室分别为第一隔离腔室，第二隔离腔室、第三隔离腔室，3个所述隔离腔室依次连接，且相邻的两个隔离腔室之间互相连通；每个所述隔离腔室下方都设有进片口；每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板；每个所述隔离腔室内部的下方设置传输单元；所述第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室内设置气体隔离单元；所述第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室的盖板上都设置抽真空单元；所述第二隔离腔室中设置阴极靶材以及冷却单元。

当有隔离腔室多于3个时，可以将其他的隔离腔室设置在所述的3个隔离腔室之前或者之后，在其他的隔离腔室中可以根据需要而安装工作单元。

优选地，所述镀膜装置还包括前隔离腔室，所述第一隔离腔室连接前置隔离腔室，所述传输单元也贯通前隔离腔室。

优选地，所述镀膜装置还包括后隔离腔室，所述第三隔离腔室连接后置隔离腔室，所述传输单元也贯通后隔离腔室。

优选地，每个所述隔离腔室都是规则的6面体且大小一致。

优选地，每相邻的两个隔离腔室之间还设置抽气孔。

优选地，每个所述盖板和每个所述隔离腔室之间设有密封圈。

优选地，所述气体隔离单元包括横向设置的横向隔板和纵向设置的纵向隔板，所述横向隔板位于传输单元的上方，所述纵向隔板上端达到隔离腔室的顶部，下端达到横向隔板。气体隔离装置将隔离腔室分为左右两个完全隔离的空间，能将通入的工艺气体相对的密封在隔离空间内，阻止工艺气体间的相互窜动，影响相邻膜层质量。

优选地，所述传输单元采用传输辊道，所述辊道包括若干辊子。

优选地，所述辊子之间设置横截面为T形的T形隔板。

优选地，所述冷却单元包括设置在第二隔离腔室内下方的冷却水管道，所述冷却水管道与外部水源连通。

优选地，所述布水管道采用铜质材料制作，因为铜的导热性能较好，因此具有较好的传递热量的功能。

优选地，所述传输单元为传输辊道，所述传输辊道包括若干辊子。