[发明专利]一种掩膜板及蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，包括用于放置掩膜板的存储腔，所述掩膜板包括板体，所述板体包括图形区域和位于所述图形区域外围的周边区域，所述图形区域设置有镂空图形，其特征在于，

所述掩膜板还包括膜厚测试片，所述膜厚测试片对应所述板体的除所述镂空图形之外的区域设置；

所述蒸镀设备还包括：

膜厚检测单元，用于测量所述掩膜板的膜厚测试片上的第一薄膜的膜厚；

所述膜厚测试片上的第一薄膜的材料为金属，所述膜厚测试片的材料为绝缘材料；

所述膜厚检测单元包括：

固定在承载部上的第一驱动机构；

固定在所述第一驱动机构的输出端的方块电阻测试仪，所述方块电阻测试仪包括计算单元、本体和设置在所述本体上的至少一个探针，所述第一驱动机构用于驱动所述探针插入所述第一薄膜中；所述计算单元与所述探针连接，当所述探针插入所述第一薄膜中时，所述计算单元计算所述第一薄膜的方块电阻；

压力传感器，用于获取所述驱动机构施加在所述方块电阻测试仪上的压力；

控制单元，与所述第一驱动机构和压力传感器连接，用于控制所述第一驱动机构驱动所述探针插入所述第一薄膜中，直至施加在所述方块电阻测试仪上的压力为预设压力；所述控制单元还与所述计算单元连接，用于根据所述第一薄膜的方块电阻确定所述第一薄膜的厚度；

或者，所述膜厚检测单元包括：

固定在承载部上的电磁铁；

固定在所述承载部上的杠杆结构，所述杠杆结构包括杠杆，所述杠杆的一端固定有具有预设重量的砝码，另一端固定有方块电阻测试仪，所述方块电阻测试仪包括计算单元、本体和设置在所述本体上的至少一个探针，所述计算单元与所述探针连接，当所述探针插入所述第一薄膜中时，所述计算单元计算所述第一薄膜的方块电阻；

控制单元，与所述电磁铁连接，用于控制所述电磁铁吸合所述砝码，当所述电磁铁不吸合所述砝码时，在所述砝码的重力作用下，所述杠杆的所述另一端抬起，使得所述探针插入所述第一薄膜中；所述控制单元还与所述计算单元连接，用于根据所述第一薄膜的方块电阻确定所述第一薄膜的厚度。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述膜厚测试片设置在所述周边区域。

3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述掩膜板包括至少两个膜厚测试片，所述至少两个膜厚测试片均匀分布在所述图形区域的周边。

4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：

报警单元；

控制单元，与所述膜厚检测单元和报警单元连接，当第一薄膜的膜厚达到预设厚度时，所述控制单元控制所述报警单元发出警报。

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述存储腔内设置有承载部，所述掩膜板固定放置在所述承载部上；

所述膜厚检测单元固定在所述承载部上，并与所述掩膜板的膜厚测试片的位置对应。

6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述承载部上具有多个支撑块，所述掩膜板固定放置在所述多个支撑块上；

所述膜厚检测单元和支撑块位于所述承载部的同一侧。

7.根据权利要求6所述的蒸镀设备，其特征在于，所述支撑块上设置有感应单元，用于检测所述支撑块上是否放置有掩膜板；

所述支撑块上还设置有固定部；

所述控制单元与所述感应单元和固定部连接，当所述支撑块上放置有掩膜板时，所述控制单元控制所述固定部固定所述掩膜板。