[发明专利]一种减反射结构的制备方法和减反射结构在审
申请号: | 201710536611.1 | 申请日: | 2017-07-04 |
公开(公告)号: | CN107140842A | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 周婷婷;张斌 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 刘悦晗,陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 反射 结构 制备 方法 | ||
1.一种减反射结构的制备方法,其特征在于,包括:
将多个颗粒与聚合物溶液混合;
在基板上涂覆所述混合有多个颗粒的聚合物溶液;
对所述混合有多个颗粒的聚合物溶液进行固化,以形成聚合物薄膜,所述颗粒裸露于所述聚合物薄膜之外。
2.根据权利要求1所述的减反射结构的制备方法,其特征在于,通过旋涂工艺在所述基板上涂覆所述混合有多个颗粒的聚合物溶液。
3.根据权利要求1所述的减反射结构的制备方法,其特征在于,所述对所述混合有多个颗粒的聚合物溶液进行固化,具体包括:
对所述混合有多个颗粒的聚合物溶液进行加热、低压或紫外光照处理。
4.一种减反射结构,形成在基板上,其特征在于,包括形成在所述基板上的掺杂有多个颗粒的聚合物薄膜,所述颗粒裸露于所述聚合物薄膜之外。
5.根据权利要求4所述的减反射结构,其特征在于,所述颗粒为纳米粒子。
6.根据权利要求5所述的减反射结构,其特征在于,所述颗粒的裸露于所述聚合物薄膜之外的部分的体积,在邻近所述聚合物薄膜的方向上逐渐增大。
7.根据权利要求6所述的减反射结构,其特征在于,所述颗粒的形状为以下形状之一或任意组合:球形、半球形、圆锥和圆台。
8.根据权利要求6所述的减反射结构,其特征在于,所述颗粒裸露于所述聚合物薄膜之外部分的排布周期为200-1000nm。
9.根据权利要求4所述的减反射结构,其特征在于,所述聚合物薄膜的材料为透明材料。
10.根据权利要求4所述的减反射结构,其特征在于,所述颗粒的材料为金属、金属氧化物和有机化合物中的一种或多种。
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