[发明专利]半导体封装结构在审
申请号: | 201710536646.5 | 申请日: | 2017-07-04 |
公开(公告)号: | CN107644851A | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
发明(设计)人: | 林岷臻;周哲雅;陈南诚 | 申请(专利权)人: | 联发科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L25/065 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 结构 | ||
1.一种半导体封装结构,其特征在于,包括:
重分布层结构,具有第一表面及相对于该第一表面的第二表面,其中该重分布层结构包括:金属间介电层和设置于该金属间介电层的第一层级处的第一导电层;
模塑料,覆盖该重分布层结构的该第一表面;
第一半导体晶粒,设置在该重分布层结构的该第二表面上,并且电性耦接至该重分布层结构;以及
多个凸块结构,设置在该重分布层结构的该第二表面上,并且电性耦接至该重分布层结构。
2.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,进一步包括:底部填充层,插入在该重分布层结构的该第二表面和该第一半导体晶粒之间。
3.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,进一步包括:第二半导体晶粒及电子元件,设置在该模塑料中并且并排布置,以及电性耦接至该重分布层结构。
4.如权利要求3所述的半导体封装结构,其特征在于,该电子元件包括:电容、电感、电阻或者他们的组合。
5.如权利要求3所述的半导体封装结构,其特征在于,该第二半导体晶粒包括:射频前端元件,集成无源器件,或者他们的组合。
6.如权利要求3所述的半导体封装结构,其特征在于,该第一导电层具有天线图案,并且俯视时该天线图案与该第一半导体晶粒、该第二半导体晶粒及该电子元件横向隔开。
7.如权利要求3所述的半导体封装结构,其特征在于,该第一导电层具有接地屏蔽图案。
8.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该重分布层结构进一步包括:设置于该金属间介电层的第二层级处的第二导电层,其中该第二层级位于该第一层级的下方。
9.如权利要求8所述的半导体封装结构,其特征在于,该第一导电层具有天线图案,该第二导电层具有接地屏蔽图案;该重分布层结构进一步包括:第三导电层,设置在该金属间介电层的第三层级处,其中该第三层级位于该第二层级的下方。
10.如权利要求9所述的半导体封装结构,其特征在于,该接地屏蔽图案设置在该天线图案的下方,并且俯视时该天线图案,该接地屏蔽图案完合覆盖该第一半导体晶粒的表面,并且该天线图案与该第一半导体晶粒横向隔开。
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