[发明专利]无铅铁电厚膜及其制备方法

权利要求书

1.一种无铅铁电厚膜，其特征在于，所述无铅铁电厚膜的化学通式为(1-x)(Na_0.5Bi_0.5)TiO₃-xBi(Ni_0.5Zr_0.5)O₃的材料，其中0<x≤0.6。

2.根据权利要求1所述的无铅铁电厚膜，其特征在于，所述无铅铁电厚膜的厚度为1μm～10μm。

3.权利要求1或2所述的无铅铁电厚膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S101：首先，在匀胶机的基片上滴加LaNiO₃胶体并进行匀胶，得到LaNiO₃湿凝胶膜；

S102：采用第一热处理工艺对所述LaNiO₃湿凝胶膜进行热处理，形成LaNiO₃底电极；

S103：采用旋涂法在LaNiO₃底电极上涂覆含有聚乙烯吡咯烷酮的(1-x)(Na_0.5Bi_0.5)TiO₃-xBi(Ni_0.5Zr_0.5)O₃胶体，得到(1-x)(Na_0.5Bi_0.5)TiO₃-xBi(Ni_0.5Zr_0.5)O₃湿凝胶膜；

S104：采用第二热处理工艺对所述(1-x)(Na_0.5Bi_0.5)TiO₃-xBi(Ni_0.5Zr_0.5)O₃湿凝胶膜进行热处理，得到无铅铁电厚膜。

4.根据权利要求3所述的无铅铁电厚膜的制备方法，其特征在于，在所述步骤S101中，匀胶时旋转的速度为2800r/min～3200r/min，旋转时间为30s～40s。

5.根据权利要求3所述的无铅铁电厚膜的制备方法，其特征在于，在所述步骤S102中，所述第一热处理工艺的具体操作为：第1s内将初始温度升温至160℃，并保温5min，然后升温至400℃，并保温6min，再升温至700℃，并保温4min。

6.根据权利要求3所述的无铅铁电厚膜的制备方法，其特征在于，在所述步骤S103中，旋涂时的旋转速度为2800r/min～3500r/min，旋转时间为20s～40s。

7.根据权利要求3所述的无铅铁电厚膜的制备方法，其特征在于，在所述步骤S104中，所述第二热处理工艺的具体操作为：首先将初始温度升温至140℃～160℃，并保温3min～5min，然后升温至400℃，并保温9min～12min，再升温至700℃～800℃，并保温9min～12min。