[发明专利]太阳能电池模块及其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池模块，其具有：

基板，以及

配置于所述基板上且相互串联连接的第1单元电池和第2单元电池；

其中，所述第1单元电池和所述第2单元电池各自包括：

配置于所述基板上的第1电极层，

位于所述第1电极层上且包含第1金属原子的氧化物的第1半导体层，

位于所述第1半导体层上的第2半导体层，以及

位于所述第2半导体层上的第2电极层；

所述第1单元电池的所述第2电极层的一部分位于将所述第1单元电池的所述第2半导体层和所述第2单元电池的所述第2半导体层分隔的沟槽内；

所述第1单元电池的所述第2电极层经由所述第2单元电池的所述第1半导体层中俯视看来与所述沟槽重叠的第1部分而与所述第2单元电池的所述第1电极层电连接；

所述第1部分包含与所述第1金属原子不同的第2金属原子，

所述第1部分中的所述第2金属原子的原子数相对于所有金属原子的原子数的合计之比A比所述第1半导体层中除所述第1部分以外的第2部分的所述第2金属原子的原子数相对于所有金属原子的原子数的合计之比B更大。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池模块，其中，所述第1电极层含有所述第2金属原子。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池模块，其中，所述第1电极层含有所述第2金属原子的氧化物。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池模块，其中，所述比A为0.9％以上，且所述比B低于0.5％。

5.根据权利要求1～4中任1项所述的太阳能电池模块，其中，所述第1金属原子为钛。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池模块，其中，所述第2金属原子为锡。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池模块，其中，所述第2半导体层包含多个半导体层。

8.一种太阳能电池模块的制造方法，其包括以下工序：

在基板上形成第1电极膜、和包含第1金属原子的氧化物的第1半导体膜(a)；

形成用于分割所述第1电极膜以及所述第1半导体膜的第1沟槽(b)；

在所述第1半导体膜上形成第2半导体膜(c)；

形成用于分割所述第2半导体膜的第2沟槽(d)；

采用激光照射所述第1半导体膜中因所述第2沟槽而露出的第1部分，对其进行加热，从而使与所述第1金属原子不同的第2金属原子向所述第1半导体膜的所述第1部分扩散(e)；

在所述第2半导体膜上以及所述第2沟槽内形成第2电极膜(f)；以及

形成用于分割所述第2电极膜的第3沟槽(g)。

9.根据权利要求8所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，在所述(e)中，作为所述激光，使用YAG激光的第3高次谐波光。

10.根据权利要求8或9所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，在所述(a)之后所述(e)之前，向所述第1半导体膜上供给所述第2金属原子。

11.根据权利要求8所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，在所述(c)中，所述第2半导体层包含多个半导体层。