[发明专利]管径和壁厚可控的金属微米管/纳米管及其制备方法在审
申请号: | 201710542334.5 | 申请日: | 2017-07-05 |
公开(公告)号: | CN107313022A | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 杨峰;张晓峰;崔立山 | 申请(专利权)人: | 中国石油大学(北京) |
主分类号: | C23C14/58 | 分类号: | C23C14/58;C23C14/35;C23C14/20;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 姚亮,沈金辉 |
地址: | 102249*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可控 金属 微米 纳米 及其 制备 方法 | ||
1.一种管径和壁厚可控的金属微米管的制备方法,其特征在于,该管径和壁厚可控的金属微米管的制备方法包括以下步骤:
将5g湿巾分别浸入到50mL-100mL的丙酮溶液、50mL-100mL的无水乙醇溶液和50mL-100mL的HCl溶液中超声5min-20min,清洗、干燥;
向湿巾上喷射金属膜;制备金属膜时是在磁控溅射仪器中进行,其中,磁控溅射的气压为5.1×10-3Pa,氩气流量为15sccm-30sccm,溅射功率为100W-250W,溅射时间为0.5min-6min;
在空气气氛中进行退火处理,得到粗产品;退火处理是在400℃-500℃下加热0.5h-2h,然后随炉自然冷却,其中,升温速率为1℃/min-10℃/min;
将粗产品在HCl溶液中浸泡,清洗、干燥,得到管径和壁厚可控的金属微米管。
2.根据权利要求1所述的管径和壁厚可控的金属微米管的制备方法,其特征在于,HCl溶液的浓度为0.5mol/L-5mol/L。
3.根据权利要求1或2所述的管径和壁厚可控的金属微米管的制备方法,其特征在于,HCl溶液的浓度为1mol/L。
4.根据权利要求1所述的管径和壁厚可控的金属微米管的制备方法,其特征在于,退火处理是在500℃下加热1h,其中,升温速率为2℃/min。
5.根据权利要求1所述的管径和壁厚可控的金属微米管的制备方法,其特征在于,所述干燥是在50℃-100℃下干燥6h-24h。
6.根据权利要求1所述的管径和壁厚可控的金属微米管的制备方法,其特征在于,干燥是在60℃下干燥12h。
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