[发明专利]圆筒光罩

权利要求书

1.一种圆筒光罩，其沿着相对于规定的中心线具有固定半径的圆筒面形成有光罩图案，且以能够绕着所述中心线旋转的方式安装在曝光装置上，其特征在于，

在所述圆筒面上，以沿所述圆筒面的圆周方向隔开间隔Sx的方式排列形成有n个显示面板用的长方形的光罩区域，其中，n≥2，该光罩区域包括长边尺寸为Ld、短边尺寸为Lc、长宽比Asp为Ld/Lc、且长边方向沿着所述中心线的显示画面区域、和与其周边相邻地设置的周边电路区域，

当将所述光罩区域的沿着所述中心线的方向的长边方向的尺寸L设为所述显示画面区域的长边尺寸Ld的e₁倍、将所述光罩区域的沿着所述圆筒面的圆周方向的短边方向的尺寸设为所述显示画面区域的短边尺寸Lc的e₂倍时，其中，e₁≥1，e₂≥1，所述圆筒面的在所述中心线的方向上的长度设定为所述尺寸L以上，并且当将所述圆筒面的直径设为φ、将圆周率设为π时，设定为πφ＝n(e₂·Lc+Sx)，进一步地，

以使所述尺寸L与所述直径φ的比率L/φ为1.3≤L/φ≤3.8的范围的方式设定所述直径φ、所述个数n、所述间隔Sx。

2.根据权利要求1所述的圆筒光罩，其特征在于，

具有用于沿着所述直径φ的外周面保持所述光罩图案的圆筒基材。

3.根据权利要求2所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材由金属制圆筒体构成，

所述光罩图案构成为在所述圆筒基材的外周面上直接形成针对来自所述曝光装置的照明光的高反射部和低反射部而成的反射型光罩图案。

4.根据权利要求2所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述光罩图案构成为在薄板上形成针对来自所述曝光装置的照明光的高反射部和低反射部而成的反射型薄片光罩，

所述反射型薄片光罩沿着所述圆筒基材的外周面而被保持为圆筒状，

所述直径φ成为形成有所述反射型薄片光罩的图案的光罩面的直径。

5.根据权利要求4所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材能够装拆地保持预先以固定半径弯曲成圆弧状的板状的所述反射型薄片光罩。

6.根据权利要求2所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材由具有固定厚度的圆环状的透明筒构成，

所述光罩图案构成为透过型光罩图案，该透过型光罩图案在所述透明筒的外周面上直接描绘形成有对来自所述曝光装置的照明光成为遮光层的图案。

7.根据权利要求2所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材由具有固定厚度的圆环状的透明筒构成，

所述光罩图案构成为由薄玻璃板构成的平面状的透过型薄片光罩，该透过型薄片光罩形成有对来自所述曝光装置的照明光成为遮光层的图案，

所述透过型薄片光罩顺着所述圆筒基材的外周面弯曲并卷绕为圆筒状，

所述直径φ成为形成有所述透过型薄片光罩的图案的光罩面的直径。

8.根据权利要求7所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述透过型薄片光罩具有未形成所述图案的非图案形成区域，

所述圆筒基材在所述非图案形成区域能够装拆地保持所述透过型光罩图案。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述长度L和所述直径φ的关系被设定为进一步满足L/φ≤2.6。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述光罩图案包括：形成使各像素驱动的TFT用的电极或布线的图案、和所述显示画面区域的各像素的图案，其中，所述各像素配置在所述显示画面区域。

11.根据权利要求1至8中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述显示画面区域对应于液晶显示器或有机EL显示器的显示画面。

12.根据权利要求1至8中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述显示画面区域的所述长边尺寸Ld与所述短边尺寸Lc的比为16:9或2：1。