[发明专利]铬钽钛合金的金相浸蚀剂及其金相组织的显示方法在审

专利信息
申请号: 201710546141.7 申请日: 2017-07-06
公开(公告)号: CN109211645A 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;胡淼锡 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: G01N1/32 分类号: G01N1/32
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 吴敏
地址: 315400 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 钽钛合金 浸蚀剂 金相组织 腐蚀处理 抛光面 混合溶液 氢氟酸 腐蚀 硝酸 晶界 硫酸 盐酸 形貌 工艺稳定性 金相显微镜 显示效果 可控性 清晰 观察
【权利要求书】:

1.一种铬钽钛合金的金相浸蚀剂,其特征在于,包括:所述金相浸蚀剂为氢氟酸、硫酸、硝酸和盐酸的混合溶液。

2.如权利要求1所述的金相浸蚀剂,其特征在于,所述金相浸蚀剂由质量百分比浓度为40%至43%的所述氢氟酸、质量百分比浓度为95%至98%的所述硫酸、质量百分比浓度为65%至68%的所述硝酸、以及质量百分比浓度为36%至38%的所述盐酸按照体积比为5:2:2:2配制而成。

3.一种铬钽钛合金金相组织的显示方法,其特征在于,包括:

提供铬钽钛合金试样;

对所述铬钽钛合金试样进行表面处理,形成至少一抛光面;

采用如权利要求1所述的金相浸蚀剂对所述铬钽钛合金试样的抛光面进行腐蚀处理。

4.如权利要求3所述的金相组织的显示方法,其特征在于,所述金相浸蚀剂由质量百分比浓度为40%至43%的所述氢氟酸、质量百分比浓度为95%至98%的所述硫酸、质量百分比浓度为65%至68%的所述硝酸、以及质量百分比浓度为36%至38%的所述盐酸按照体积比为5:2:2:2配制而成。

5.如权利要求3所述的金相组织的显示方法,其特征在于,提供铬钽钛合金试样的步骤包括:

提供铬钽钛合金靶材;

从所述铬钽钛合金靶材中切取一部分作为铬钽钛合金试样。

6.如权利要求3所述的金相组织的显示方法,其特征在于,所述表面处理的步骤包括依次进行的研磨工艺和抛光工艺。

7.如权利要求6所述的金相组织的显示方法,其特征在于,所述研磨工艺的步骤包括:依次采用粒度递增的砂纸对所述铬钽钛合金试样表面进行研磨。

8.如权利要求7所述的金相组织的显示方法,其特征在于,所述砂纸分别为400#、800#和1500#的水性砂纸。

9.如权利要求7所述的金相组织的显示方法,其特征在于,在所述研磨工艺的步骤中,将所述砂纸放置于研磨机上,以水作为润湿剂进行研磨。

10.如权利要求9所述的金相组织的显示方法,其特征在于,所述研磨机的转速为300转/分钟至400转/分钟,所述研磨工艺的总时间为5分钟至10分钟。

11.如权利要求6所述的金相组织的显示方法,其特征在于,所述抛光工艺的步骤包括:采用蘸有金刚石研磨膏的绒布对研磨后的所述铬钽钛合金试样表面进行机械抛光。

12.如权利要求11所述的金相组织的显示方法,其特征在于,在所述机械抛光的步骤中,将所述绒布设置于研磨机上,且以水作为润湿剂进行抛光。

13.如权利要求12所述的金相组织的显示方法,其特征在于,所述研磨机的转速为300转/分钟至400转/分钟,抛光时间为2分钟至3分钟。

14.如权利要求3所述的金相组织的显示方法,其特征在于,在所述表面处理后,在所述腐蚀处理之前,还包括步骤:采用清水清洗所述铬钽钛合金试样。

15.如权利要求3所述的金相组织的显示方法,其特征在于,所述腐蚀处理的处理时间为60秒至90秒。

16.如权利要求3所述的金相组织的显示方法,其特征在于,所述腐蚀处理的步骤包括:

提供所述金相浸蚀剂;

将所述铬钽钛合金试样的抛光面浸入所述金相浸蚀剂中进行腐蚀。

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