[发明专利]一种等离子体发生装置

权利要求书

1.一种等离子体发生装置，包括依次连接的微波源、传输匹配结构和谐振腔，所述传输匹配结构能将所述微波源产生的微波能量馈入所述谐振腔，所述谐振腔的底壁下方用于设置介质窗和真空腔，其特征在于，所述谐振腔是由多段波导拼接构成的中心对称结构，每段所述波导的长度大于或等于所述介质窗的直径，且其对称中心与所述介质窗的中心在竖直方向上的投影重合，由多段所述波导拼接构成的所述谐振腔具有多个分支，每个所述分支的底壁上均开设有多个狭缝，所述狭缝能将微波能量通过所述介质窗均匀地馈入所述真空腔，

其中，所述谐振腔为由两段矩形的所述波导正交构成的“十”字形结构，或所述谐振腔为由四段矩形的所述波导两两正交构成的“米”字形结构。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述“十”字形结构的四个分支形状和尺寸均相同。

3.根据权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述“米”字形结构的八个分支形状和尺寸均相同。

4.根据权利要求2或3所述的等离子体发生装置，其特征在于，在所述谐振腔的每个所述分支的所述底壁上均开设有四个所述狭缝，每个所述分支上的四个所述狭缝均排布形成矩形框。

5.根据权利要求4所述的等离子体发生装置，其特征在于，相对的两个所述分支上的所述矩形框相对于所述谐振腔的中心对称。

6.根据权利要求5所述的等离子体发生装置，其特征在于，每个所述分支上的所述矩形框的长边和短边，分别与其所在的矩形的所述波导的长边和短边平行。

7.根据权利要求5所述的等离子体发生装置，其特征在于，每个所述分支上的所述矩形框的长边和短边，分别与其所在的矩形的所述波导的长边和短边形成相同大小的夹角。

8.根据权利要求2或3所述的等离子体发生装置，其特征在于，在所述谐振腔的每个所述分支的所述底壁上均开设有两个以上所述狭缝，每个所述分支上的所述狭缝均相互平行且排布形成阵列，所述狭缝的长度方向垂直于其所在的所述波导的长度方向。

9.根据权利要求8所述的等离子体发生装置，其特征在于，相对的两个所述分支上的所述阵列相对于所述谐振腔的中心对称。