[发明专利]一种特氟龙快速微加工装置及方法

权利要求书

1.一种特氟龙快速微加工装置，其特征在于，包括：同步辐射光光源、喷嘴、光束整形器、加热板，其中，所述光源位于所述喷嘴的前端，所述加热板覆盖于所述喷嘴的表面，所述光束整形器设置于所述加热板的中心位置，所述同步辐射光光源发出的同步辐射光线通过所述光束整形器，并且所述喷嘴、所述光束整形器和所述加热板之间为准直性组装。

2.如权利要求1所述的特氟龙快速微加工装置，其特征在于，所述的加热板由绝缘的基板和加热丝构成，并且所述加热丝分布在光束整形器的两侧。

3.如权利要求2所述的特氟龙快速微加工装置，其特征在于，所述加热板上的加热丝采用钨电阻丝，所述绝缘的基板采用玻璃材料。

4.如权利要求1所述的特氟龙快速微加工装置，其特征在于，所述喷嘴的结构参数为：直径5mm，长20mm，尖端针孔直径80μm。

5.如权利要求1所述的特氟龙快速微加工装置，其特征在于，所述光束整形器为由20×20×5μm³的聚酰亚胺材料制备形成的正方形小孔。

6.如权利要求1所述的特氟龙快速微加工装置，其特征在于，所述加热板的基板的尺寸为6mm×6mm×0.4mm。

7.如权利要求2或3所述的特氟龙快速微加工装置，其特征在于，所述加热丝的电阻温度系数为0.00482/℃。

8.一种特氟龙快速微加工装置的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

第一，采用传统机械工艺制作喷嘴，尺寸为：直径5mm，长20mm，尖端针孔直径80μm；

采用微细加工技术制备光束整形器和加热板的加热丝，加热板的材料为玻璃基板，加热丝为钨，加热板的基板的尺寸为6mm×6mm×0.4mm；

第二，用传统装配技术将喷嘴、光束整形器和加热板进行组装，组装过程保证准直性。

9.一种使用权利要求1的装置的特氟龙快速微加工方法，其特征在于，包括如下步骤：打开同步辐射光光源，随即产生同步辐射光光线，该光线在到达喷嘴的末端时，通过加热板上的光束整形器，形成一束较细的同步辐射光束，照射到特氟龙加工件上进行特氟龙微加工，同时加热板贴近特氟龙加工件而局部加热特氟龙加工件，对特氟龙进行快速加工。

10.如权利要求9所述的特氟龙快速微加工方法，其特征在于，当喷嘴旋转时，喷嘴中同步辐射光光线会发生相应偏转。