[发明专利]MO源罐装钢瓶的自动清洗装置及其方法

说明书

本发明公开了MO源罐装钢瓶的自动清洗装置及方法，碱液池、酸液池、自来水管网和超纯水管网的出口分别通过管路与超声波前清洗槽相连，超声波前清洗槽与超声波后清洗槽之间连接MO源罐装钢瓶，MO源罐装钢瓶的插底管通过软管与超声波前清洗槽相连通，MO源罐装钢瓶的气管通过软管与超声波后清洗槽相连通，中和池通过管路与超声波后清洗槽相连通，第一泵进口通过管路与超声波后清洗槽相连，第一泵出口分别通过管路与碱液池、酸液池相连，第二泵进口通过管路经阀门与超声波前清洗槽相连，第二泵出口分别通过管路与碱液池、酸液池、中和池相连。实现碱超声洗、酸超声洗、自来水冲洗和高纯水冲洗，清洗非常干净，无金属杂质和有机物残留。

技术领域

本发明涉及一种MO源罐装钢瓶的自动清洗装置及其方法。

背景技术

MO源是伴随着MOCVD技术而发展起来的。6N(6N＝99.9999％)纯度的MO源是制造半导体薄膜材料的主要金属源，常作为如GaN、GaAs、InP、A1GaAs等半导体超薄型膜材料的基础源。这些新型光电材料广泛应用于激光器、红外探测器、太阳能电池等高技术行业领域。

MO源的储存和运输是使用一种特殊设计的钢瓶，此钢瓶可以和MOCVD设备相吻合，专利公开号为CN201512580U和CN203797323U的专利公开了钢瓶的结构。该钢瓶在保证坚固的同时，还需要有超高的纯度，防止高纯MO源产品被污染。如何清洗钢瓶则成为需要研究的问题。

目前钢瓶清洗主要靠人工灌碱、灌酸，操作人员存在被酸碱灼伤的危险，同时还要忍受超声波的噪音污染，并且需要耗费大量的时间和人力，对环境亦有影响。

如何需要设计一种可减轻操作人员劳力、减少酸碱灼伤的危险、省时省力的清洗设备。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种MO源罐装钢瓶的自动清洗装置及其方法。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：包含超声波前清洗槽、超声波后清洗槽、第一泵以及第二泵，碱液池、酸液池、自来水管网和超纯水管网的出口分别通过管路与超声波前清洗槽相连通，其每一连接管路上设有阀门，于超声波前清洗槽与超声波后清洗槽之间连接MO源罐装钢瓶，MO源罐装钢瓶的插底管通过软管经阀门与超声波前清洗槽相连通，MO源罐装钢瓶的气管通过软管经阀门与超声波后清洗槽相连通，中和池通过管路经阀门与超声波后清洗槽相连通，第一泵的进口通过管路经阀门与超声波后清洗槽相连通，第一泵的出口分别通过管路与碱液池、酸液池相连通，其每一连接支路上设有阀门，第二泵的进口通过管路经阀门与超声波前清洗槽相连通，第二泵的出口分别通过管路与碱液池、酸液池、中和池相连通，其每一连接支路上设有阀门。

进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述超声波前清洗槽与超声波后清洗槽之间并联有多只MO源罐装钢瓶。

进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述软管为1/4VCR编织软管。

进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述第一泵和第二泵为耐酸碱液体循环泵。

进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述阀门均为气动阀。

进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述第一泵与碱液池、酸液池之间的连接管路采用PTFE管。

进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述第二泵与碱液池、酸液池之间的连接管路采用PTFE管。