[发明专利]一种线性蒸发源及真空蒸镀装置在审
| 申请号： | 201710558037.X | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN109234682A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李浩永;金薰;丁熙荣;金甲锡 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线性蒸发源 安装板 开口部 蒸发孔 坩埚 真空蒸镀装置 喷嘴 可拆卸 蒸镀 长度方向延伸 长期稳定 成本费用 方向排列 生产效率 维护操作 蒸镀材料 均匀性 耗时 贯穿 延伸 更新 保证 维护 | ||
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：
坩埚，具有沿其长度方向延伸的开口部；
安装板，可拆卸地安装于所述坩埚的开口部上，所述安装板上设有沿所述开口部的延伸方向排列、且贯穿安装板厚度方向的多个蒸发孔；
多个喷嘴，与所述安装板的蒸发孔一一对应，且每个喷嘴可拆卸地安装于与其对应的蒸发孔上。
2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，沿轴心线方向上，所述蒸发孔包括靠近坩埚一侧的集气孔和远离坩埚一侧的螺纹孔；所述集气孔的径向尺寸大于所述螺纹孔的径向尺寸。
3.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，所述集气孔呈锥筒状或者直筒状。
4.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，所述喷嘴呈两端贯通的圆筒状，且所述喷嘴的第一端外表面设有与所述螺纹孔螺纹配合的第一螺纹部。
5.根据权利要求4所述的线性蒸发源，其特征在于，所述螺纹孔的上部边缘设有边槽，所述边槽和所述喷嘴的第一螺纹部的边缘紧密贴合。
6.根据权利要求4所述的线性蒸发源，其特征在于，所述多个喷嘴的内径尺寸不同；和/或，所述多个喷嘴的长度不同。
7.根据权利要求4所述的线性蒸发源，其特征在于，所述喷嘴的内表面呈直筒状、正锥筒状或者倒锥筒状。
8.根据权利要求4所述的线性蒸发源，其特征在于，还包括：
喷嘴盖，呈两端贯通的圆筒状，所述喷嘴盖可套设于所述喷嘴的第二端。
9.根据权利要求8所述的线性蒸发源，其特征在于，所述喷嘴的第二端外表面设有第二螺纹部；
所述喷嘴盖的第一端内表面设有与所述喷嘴的第二端外表面螺纹配合的第三螺纹部。
10.根据权利要求9所述的线性蒸发源，其特征在于，所述喷嘴盖的内径尺寸等于所述喷嘴的内径尺寸；或者，所述喷嘴盖的内径尺寸小于所述喷嘴的内径尺寸。
11.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，位于所述开口部两端的蒸发孔之间的间距小于位于所述开口部中间的蒸发孔之间的间距。
12.根据权利要求1～11任一项所述的线性蒸发源，其特征在于，所述安装板的边沿通过螺栓安装于所述坩埚开口部的边沿上。
13.根据权利要求8～11任一项所述的线性蒸发源，其特征在于，所述坩埚、安装板、喷嘴及喷嘴盖采用钛、钽、钨、钼、碳和不锈钢中的一种或几种材料制备。
14.根据权利要求8～11任一项所述的线性蒸发源，其特征在于，所述坩埚、安装板、喷嘴及喷嘴盖采用钛材料制备。
15.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1～14任一项所述的线性蒸发源。
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