[发明专利]曝光装置

权利要求书

1.一种曝光装置，一边将具有挠性的长条的基板沿长度方向搬送，一边在所述基板上曝光出图案，其中，具有：

基板支承筒，其具有相对于沿所述基板的宽度方向延伸的中心轴为规定的曲率半径的圆筒形状的外周面，一边顺着所述外周面支承所述基板的长度方向的一部分，一边以所述中心轴为中心旋转而沿长度方向搬送所述基板；

照明光学组件，其用于朝向反射型的光罩图案照射曝光用的照明光束；

投影光学组件，其用于将由所述光罩图案反射的曝光用的投影光束朝向由所述基板支承筒的外周面以圆筒面状支承的所述基板的一部分投射；以及

分束器，其配置在所述照明光学组件与所述光罩图案之间，并且配置在所述光罩图案与所述投影光学组件之间，入射来自所述照明光学组件的所述照明光束并将其朝向所述光罩图案反射，另一方面，入射由所述光罩图案反射的所述投影光束并将其朝向所述投影光学组件透射，

朝向所述光罩图案的法线方向反射的所述投影光束的主光线相对于包含所述基板支承筒的所述中心轴的中心面具有角度θ，在通过该角度θ使所述投影光束的主光线与所述光罩图案相交的交点上的所述光罩图案的切面和与所述中心轴平行且与所述中心面正交的面在铅垂方向上的间隔随着从所述中心面离开而变大的方式倾斜时，将向所述分束器入射的所述照明光束的主光线的入射角β设定为45°×0.8≤β≤(45°+θ/2)×1.2的范围内。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其中，

所述分束器是偏振光分束器，

所述曝光装置还具备设于所述偏振光分束器与所述光罩图案之间的波片，

所述波片改变从所述偏振光分束器朝向所述光罩图案的所述照明光束的偏振状态，并且还改变从所述光罩图案入射到所述偏振光分束器的所述投影光束的偏振状态。

3.根据权利要求2所述的曝光装置，其中，

所述偏振光分束器具有偏振膜，所述偏振膜为了使入射的所述照明光束或者入射的所述投影光束根据偏振状态分离为反射光束或透射光束，而成为52.4°～57.3°的布鲁斯特角。

4.根据权利要求3所述的曝光装置，其中，

入射到所述偏振光分束器的所述照明光束的角度范围被设定为：入射到所述偏振膜的入射角包含所述布鲁斯特角且通过所述偏振膜对反射光束的反射率及对透射光束的透射率为95％以上的范围。

5.根据权利要求3或4所述的曝光装置，其中，

所述偏振光分束器具有在与所述中心轴正交的面内观察到的形状为三角形的第1棱镜和第2棱镜，所述第1棱镜的1个面和所述第2棱镜的1个面夹着所述偏振膜而接合。

6.根据权利要求5所述的曝光装置，其中，

还具有光源装置，所述光源装置产生波长365nm以下的紫外波长区域的激光来作为所述照明光束。

7.根据权利要求6所述的曝光装置，其中，

所述偏振膜以使得从所述第1棱镜朝向所述第2棱镜的所述紫外波长区域的入射光束根据偏振状态而分离为向所述第1棱镜侧反射的反射光束或向所述第2棱镜侧透射的透射光束的方式，将以二氧化硅为主成分的第1膜体和以氧化铪为主成分的第2膜体在膜厚方向层叠而构成。

8.根据权利要求7所述的曝光装置，其中，

所述偏振膜的所述第1膜体由相对于所述照明光束的紫外波长区域的波长λ为λ/4波长的膜厚形成，

所述偏振膜的所述第2膜体相对于所述波长λ为λ/8波长的膜厚，且夹着所述第1膜体而设于膜厚方向的两侧。