[发明专利]卡盘工作台机构

权利要求书

1.一种卡盘工作台机构，其将卡盘工作台安装在上部并且对该卡盘工作台以能够旋转的方式进行支承，所述卡盘工作台将被加工物吸引保持于上表面，该卡盘工作台机构的特征在于，

该卡盘工作台机构具有：

固定基台，在该固定基台的内部形成有与外部吸引源连通的连通路径；以及

旋转单元，其以能够旋转的方式配设在该固定基台的上方，在该旋转单元的上部安装卡盘工作台，

该旋转单元具有：

旋转基台，其以能够旋转的方式配设在该固定基台的上方；以及

插入部，其相对于该旋转基台装拆自如地固定于旋转中心并且构成为能够插入至该固定基台，

在该插入部的内部形成有将吸引力传递给该卡盘工作台上表面的吸引路径，该插入部具有与该固定基台的卡合凹部卡合的卡合端部，

当该卡合端部与该卡合凹部卡合时，该卡合端部的外周壁与该固定基台的该卡合凹部的内壁之间利用密封环进行密封，并且该连通路径与该吸引路径连结，

当将该插入部的该卡合端部从该固定基台的该卡合凹部拔出时，该密封环露出。

2.根据权利要求1所述的卡盘工作台机构，其特征在于，

该旋转单元利用轴承而保持于该固定基台，在该固定基台上具有使该旋转单元旋转的旋转电动机。