[发明专利]一种离子引出系统驱动装置在审
| 申请号： | 201710560156.9 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109216141A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 方明江;蔡成振 | 申请（专利权）人： | 无锡诚承电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/15;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极模块 离子引出系统 驱动装置 离子源弧室 传输效率 光路部件 绝缘瓷柱 束流发射 抑制电极 运动模块 真空密封 真空腔室 地电极 引出板 束流 驱动 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子引出系统驱动装置，包括：X轴运动模块、Y轴运动模块、Z轴运动模块、R轴运动模块、真空密封模块、电极模块，所述电极模块由引出地电极、抑制电极、绝缘瓷柱等构成；在X、Y、Z三个运动模块和一个R轴旋转模块驱动电极模块相对于离子源弧室引出板做相应的运动，四个运动模块整体布局为一种龙门架式的方式，Z轴运动模块在龙门架的最顶端，其余三个运动模块在布置在龙门横梁上；X轴、Y轴两个运动模块分别驱动电极模块相对于离子源弧室引出板做左右和上下运动，Z轴运动模块驱动前后方向运动，R轴运动模块驱动电极模块围绕抑制电极入口平面的水平中心线做顺时针或逆时针旋转运动。
2.根据权利要求1所述的离子引出系统驱动装置，其特征在于，X轴、Y轴和Z轴三个运动模块均使用滚动导轨支撑，电机直接驱动高精密丝杆做直线运动。
3.根据权利要求1所述的离子引出系统驱动装置，其特征在于，R轴运动模块的旋转支撑使用背对背相联角接触球轴承支撑，轴承固定方式处于预紧状态。
4.根据权利要求1所述的离子引出系统驱动装置，其特征在于，真空密封使用焊接波波纹管密封，焊接波纹管中心装有L型联接轴，用于R轴运动模块终端与电极模块的联接。
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