[发明专利]一种柔性基板原子氧防护层的生产线

权利要求书

1.一种柔性基板原子氧防护层的生产线，具备：

用于固定安装所述柔性基板，并将其送入预备工位的固定安装预备系统；

用于清洗并烘干所述柔性基板表面的清洗烘干处理系统；

用于对所述柔性基板的表面层进行活化预处理的活化处理系统，所述活化处理系统包括溶液浸泡处理模块、表面清洗模块、缓冲处理模块和紫外辐照模块；

用于对经活化处理后的所述柔性基板的表面层进行硅烷化处理的硅烷化处理系统，所述硅烷化处理系统包括与硅源前驱体溶液硅烷化腔体密封对接的专用惰性保护气氛密封存储罐；

用于对硅烷化处理后的所述柔性基板进行稳定化处理的稳定化处理系统，所述稳定化处理系统包括紫外辐照模块和时效热处理装置；

用于对处理后的所述柔性基板进行检测的自主检测系统；

用于对生产过程中的各种废液进行回收处理的废液回收系统；

用于在各系统间传动所述柔性基板的传动系统；和

用于控制所述各系统及所述柔性基板动作的控制系统；

所述各系统间采用线性排列；

所述紫外辐照模块内配置有低压石英汞灯、冷却循环系统和净化过滤系统；

所述时效热处理装置具备多段程序升温功能。

2.根据权利要求1所述的柔性基板原子氧防护层的生产线，其特征在于，具备向所述各系统间传送新风的新风系统。

3.根据权利要求1所述的柔性基板原子氧防护层的生产线，其特征在于，所述固定安装预备系统具备尺寸调整模块。

4.根据权利要求1所述的柔性基板原子氧防护层的生产线，其特征在于，所述清洗烘干处理系统包括采用去离子水清洗的清洗装置和采用乙醇清洗的清洗装置。

5.根据权利要求1所述的柔性基板原子氧防护层的生产线，其特征在于，所述自主检测系统为3D在线检测系统。

6.根据权利要求1所述的柔性基板原子氧防护层的生产线，其特征在于，所述废液回收系统具备废弃水回收装置、废弃乙醇回收装置、活化溶液的回收装置、硅源前驱体溶液回收装置以及有机清洗液的回收装置。