[发明专利]一种热丝化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种化学气相沉积设备，该设备包括反应腔体和支撑台架，其特征在于，

所述支撑台架是所述反应腔体(10)的载体，所述反应腔体包括腔体和盖板(11)，该盖板设置在所述腔体的上方，用于使所述腔体形成密封的空间；所述腔体的外侧表面设置有多个凸台状的观察窗(19)；

所述腔体内部设置有衬底平台(50)和一组相对设置的热丝架(22)，所述相对设置的热丝架之间设置有金属热丝(54)，每个所述热丝架下方均设置有铜片(24)，该铜片与设置在下底板上的电源正极(21A)/负极(21B)导通，通电后用于加热所述金属热丝，其中，所述金属热丝还与设置在所述腔体外的弹簧拉伸装置(17)连接，该弹簧拉伸装置用于使所述金属热丝处于绷紧的状态，此外，所述腔体的侧壁上还设置有通孔(46)，测温仪穿过该通孔测量所述金属热丝的温度，与该测温仪连接的还有报警指示灯(35)和显示面板(34)，用于预警和显示所述热丝的温度；

所述衬底平台(50)设置在所述反应腔体的下底板上，介于所述相对设置的热丝架(22)之间，且位于所述金属热丝(54)下方，该衬底平台用于放置待沉积的基体材料；

所述盖板(11)、弹簧拉伸装置(17)、腔体的侧壁和下底板上均设置有冷却水道，用于冷却所述腔体。

2.如权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述金属热丝采用钨丝或钽丝。

3.如权利要求1或2所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述热丝架分为两层，每层均为钼板，所述衬底平台也采用钼板。

4.如权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述腔体的下底板上设置有多个进气口(52)和抽气口(53)，该进气口用于外界空气进入所述反应腔内，所述抽气口用于抽取所述反应腔内的气体。

5.如权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述盖板与所述腔体之间设置有密封圈，用于密封所述腔体。

6.如权利要求1所述的一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述观察窗(19)上设置有翻盖(19A)，该翻盖中心设置有方形孔，用于放置石英石玻璃(19C)。