[发明专利]一种微束X射线快速定位与校准装置及其使用方法

权利要求书

1.一种微束X射线快速定位与校准装置的使用方法，其特征在于：微束X射线快速定位与校准装置包括X射线阵列探测器(1)、薄片基底(2)，X射线阵列探测器(1)设置于薄片基底(2)的底部，薄片基底(2)由基底和表面十字镀层(3)组成，表面十字镀层(3)设置于基底的上部；

并且微束X射线快速定位与校准装置的使用方法包括以下步骤：

(1).第一组焦点重合；

其中，第一组焦点重合包括以下步骤：

步骤a.将微束X射线快速定位与校准装置安装于X荧光分析仪载物台(7)上，将X光透镜(4)安装于X荧光分析仪载物台(7)的一侧斜上方，使X光透镜(4)与X荧光分析仪载物台(7)之间的角度呈α，将X射线能量探测器(6)安装于X荧光分析仪载物台(7)的另一侧斜上方，使X射线能量探测器(6)与X荧光分析仪载物台(7)之间的角度呈β，将显微镜设置于微束X射线快速定位与校准装置正上方；

步骤b.将带有十字标尺的显微镜目镜安装于显微镜的观察孔中，选择合适放大倍数的物镜(5)，并将其安装在显微镜上，调节X荧光分析仪载物台(7)的高度，直到从目镜中观察到表面十字镀层(3)清晰的像；

步骤c.使用目镜观察两个十字图像，第一个是目镜十字标尺图像，第二个是表面十字镀层(3)的图像，水平方向调节X荧光分析仪载物台(7)，使两个十字图像的交叉中心点重合；

(2).第二组焦点重合；

第二组焦点重合包括以下步骤：

步骤a.开启X射线发生器的电源，开启光管高压；

步骤b.测量X射线能量探测器(6)输出能谱，并在锌元素K系特征X射线能量为8.64keV位置观察元素峰；

步骤c.调节X射线能量探测器(6)的角度β，多次重复步骤b，使锌元素K系特征X射线的元素峰面积计数率达到最大值，此时，X射线能量探测器(6)的中心就和表面十字镀层(3)的中心重合，也即和显微镜目镜标尺的中心重合；

(3).第三组焦点重合；

第三组焦点重合包括以下步骤：

步骤a.启动X射线阵列探测器(1)，X射线阵列探测器(1)将测量的X射线剂量转换成二维灰度图，即椭圆焦斑灰度图；

步骤b.采用重心法计算椭圆焦斑灰度图的重心，该重心点就是X光透镜(4)输出X射线的中心，也就是X射线焦斑的中心点；

步骤c.使X光透镜(4)输出X射线照射到X射线阵列探测器(1)表面，由于镀层对射线的吸收，造成镀层底部，也就是X射线阵列探测器(1)被镀层遮住的部分，没有X射线，在X射线阵列探测器(1)输出的X射线剂量灰度图中，找到镀层的阴影，该阴影的中心就是表面十字镀层(3)的交叉点；

步骤d.在步骤b和步骤c中能够获得两个焦点，通过图像处理软件能够计算，并得到两个焦点在二维平面上的距离，该距离就是偏差，左右方向偏差记为△x和前后方向偏差记为△y；

步骤e.根据步骤d获得的偏差，调节X荧光分析仪载物台7在二维平面的位置；

步骤f.重复步骤a-e，直到步骤d计算的△x偏差、△y偏差均在22μm以内。

2.根据权利要求1所述的一种微束X射线快速定位与校准装置的使用方法，其特征在于：所述的基底的材料采用金属铍，基底的厚度为100um。

3.根据权利要求1所述的一种微束X射线快速定位与校准装置的使用方法，其特征在于：所述的表面十字镀层(3)有横、竖两条，每条镀层起始于基底面一条边的中点，终止于另一边的中点，两条镀层呈十字交叉结构，交点位于基底的中心。

4.根据权利要求3所述的一种微束X射线快速定位与校准装置的使用方法，其特征在于：所述的表面十字镀层(3)的宽度为22um，厚度为10um，材料采用锌。

5.根据权利要求1所述的一种微束X射线快速定位与校准装置的使 用方法，其特征在于：所述的薄片基底(2)的下表面面积大小与X射线阵列探测器(1)的上表面面积大小相同，中心点同心。