[发明专利]一种等离子激元波导、生物传感芯片及系统

权利要求书

1.一种等离子激元波导，其特征在于，应用于生物传感芯片，所述等离子激元波导包括基底和设置在所述基底上表面的等离子激元结构，所述等离子激元结构包括周期性排列的多个等离子激元，所述等离子激元为金属开口环，所述等离子激元的环形开口处用于固定抗体探针。

2.如权利要求1所述的等离子激元波导，其特征在于，所述等离子激元结构的水平方向周期长度和垂直方向周期长度均为50μm～200μm，所述等离子激元的环形直径为30μm～100μm，所述环形开口的宽度为10nm～2μm。

3.如权利要求1所述的等离子激元波导，其特征在于，所述金属开口环为圆形开口环、椭圆形开口环或多边形开口环。

4.如权利要求1所述的等离子激元波导，其特征在于，所述基底为硅基底、玻璃基底或塑料基底。

5.如权利要求1所述的等离子激元波导，其特征在于，所述等离子激元通过3D打印技术或紫外光刻技术制备，所述等离子激元通过金属电沉积工艺附着在所述基底层的上表面形成所述等离子激元结构。

6.一种生物传感芯片，其特征在于，包括键合在同一基板上的检测液预处理芯片和微流控芯片，所述微流控芯片包括至少一个微流控通道，所述微流控通道内设置有如权利要求1～5任一项所述的等离子激元波导；

所述检测液预处理芯片包括检测液入口以及与所述至少一个微流控通道数量相等的检测液出口，每个所述微流控通道的进口对应连接一个所述检测液出口；

检测液样本从所述检测液入口流入，经所述检测液预处理芯片处理后得到检测液，所述检测液经所述检测液出口和所述进口流入所述微流控通道，所述检测液中的目标生物分子被所述微流控通道中的等离子激元波导上的抗体探针捕获，所述至少一个微流控通道捕获所述检测液中的至少一种目标生物分子。

7.如权利要求6所述的生物传感芯片，其特征在于，每个所述微流控通道中的等离子激元波导上的抗体探针均相同，所述至少一个微流控通道捕获所述检测液中的同一种目标生物分子。

8.如权利要求6所述的生物传感芯片，其特征在于，所述检测液样本为血液样本。

9.如权利要求6所述的生物传感芯片，其特征在于，对应连接的所述进口和所述检测液出口的连接处通过聚二甲基硅氧烷密封。

10.一种生物传感系统，其特征在于，包括如权利要求6～9任一项所述的生物传感芯片，还包括太赫兹源和太赫兹分析仪；

所述太赫兹源向捕获了所述目标生物分子的生物传感芯片发射太赫兹波；所述太赫兹分析仪接收所述生物传感芯片反射的太赫兹波，并对所述反射的太赫兹波进行太赫兹光谱分析，以检测所述生物传感芯片捕获的目标生物分子的生物特征。