[发明专利]高温静电卡盘

权利要求书

1.一种高温静电卡盘，包括基座和设置于所述基座上方的卡盘主体，所述卡盘主体用于支撑晶片，所述卡盘主体的外侧环绕设置有压环和沉积环，所述压环用于对所述卡盘主体进行限位，所述沉积环位于所述压环的上方，其特征在于，所述压环开设有豁口，所述沉积环和/或所述基座在对应所述豁口的区域设置有接触脚，所述接触脚使得所述沉积环与所述基座直接接触，并使所述沉积环与所述压环在所述卡盘主体的轴向方向上具有安全距离。

2.根据权利要求1所述的高温静电卡盘，其特征在于，所述豁口和所述接触脚成对设置，所述豁口的形状和所述接触脚的形状匹配。

3.根据权利要求2所述的高温静电卡盘，其特征在于，所述豁口和所述接触脚包括多对，多对所述豁口和所述接触脚沿所述卡盘主体的周向均匀分布。

4.根据权利要求1所述的高温静电卡盘，其特征在于，所述豁口和所述接触脚均为环形，所述豁口的形状和所述接触脚的形状匹配。

5.根据权利要求1所述的高温静电卡盘，其特征在于，所述豁口开设于所述压环的径向外边缘；在所述沉积环的径向外边缘且对应所述豁口的区域设置有朝向所述基座的一侧延伸形成的所述接触脚，所述接触脚与所述基座直接接触。

6.根据权利要求1所述的高温静电卡盘，其特征在于，所述豁口开设于所述压环的径向外边缘；在所述基座的径向外边缘且对应所述豁口的区域设置有朝向所述沉积环的一侧延伸形成的所述接触脚，所述接触脚与所述沉积环直接接触。

7.根据权利要求1所述的高温静电卡盘，其特征在于，所述豁口开设于所述压环的径向外边缘；在所述沉积环的径向外边缘且对应所述豁口的区域设置有朝向所述基座的一侧延伸形成的第一接触脚；在所述基座的径向外边缘且对应所述豁口的区域朝向所述沉积环的一侧延伸形成的第二接触脚；所述第一接触脚和所述第二接触脚直接接触。

8.根据权利要求1-7任一项所述的高温静电卡盘，其特征在于，所述基座与所述沉积环通过所述接触脚直接接触的面位于同一水平面。

9.根据权利要求1-7任一项所述的高温静电卡盘，其特征在于，所述接触脚的厚度大于所述压环的厚度。

10.根据权利要求1-7任一项所述的高温静电卡盘，其特征在于，所述接触脚与所述压环的外边缘相离设置。