[发明专利]基于柔性可弯曲玻璃的石墨烯透明导电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种基于柔性可弯曲玻璃的石墨烯透明导电薄膜，其特征在于：石墨烯透明导电薄膜生长在柔性25-100微米可弯曲玻璃上而不是当前的刚性玻璃上。

2.一种如权利要求1所述的基于柔性可弯曲玻璃的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：包括三个部分：

(1)R2R CVD生长铜基石墨烯透明导电薄膜；

(2)R2R转移铜基石墨烯透明导电薄膜到柔性可弯曲玻璃上；

(3)基于柔性可弯曲玻璃的石墨烯透明导电薄膜触摸屏电子器件的制造。

3.根据权利要求2所述的基于柔性可弯曲玻璃的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述第(1)部分中，R2R CVD生长采用R2R CVD炉，R2R CVD炉具有同心双石英管，内石英管是旋转的，在其中间部分有导气孔，以便CH4进入外管内壁与内管外壁之间，实现R2R石墨烯薄膜生产。

4.根据权利要求2或3所述的基于柔性可弯曲玻璃的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：其制备的具体步骤如下：

步骤1.将铜薄膜卷绕到直径20厘米长度200厘米的石英内管外壁上，在外管中通入10SCCM流量的氢气，保持石英管中的压力为95mTorr,加温到1050℃；保温45分钟；

步骤2.步骤1实行的同时在石英内管中通入30SCCM流量的CH₄和10SCCM流量的H₂，保持管压在500mTorr 30分钟，然后通入氢气在管压100mTorr下以15℃/秒降温速度快速冷却到常温；

步骤3.将步骤2处理得到的铜薄膜和热剥离膜同时穿过滚压面相互靠近的一组滚轮，在两滚轮上加上微量的压力将长在铜基上的石墨烯表面贴上一层热剥离膜；

步骤4.将铜基部分浸入到塑料酸洗盆中去除铜腐蚀掉并用去离子水清洗残余酸液，晾干；

步骤5.在两滚轮间放入25-100微米柔性玻璃并插入贴有热剥离膜的石墨烯缓慢加热到85-125℃并以150-250毫米/分钟的速度传动，热剥离膜脱开，石墨烯转移到柔性玻璃上；

步骤6.在同样的柔性玻璃上如此反复，可得到多层石墨烯薄膜；

步骤7.用空心模板和丝网印刷做成一个四线触摸屏面板；打印出银电极和点间隔，将上面板和下面板小心组装形成石墨烯基柔性触摸屏电子仪器。

5.根据权利要求4所述的基于柔性可弯曲玻璃的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：制备完成的石墨烯透明导电薄膜生长在柔性25-100微米可弯曲玻璃上。