[发明专利]基于碘铅铯甲脒薄膜的宽波带光电探测器及其制备方法

权利要求书

1.基于碘铅铯甲脒薄膜的宽波带光电探测器，其特征在于：所述光电探测器是在绝缘玻璃的上表面设置有FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜，在所述FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜上设置有一对与所述FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜呈欧姆接触的金薄膜电极。

2.根据权利要求1所述的宽波带光电探测器，其特征在于：所述FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜为n-型钙钛矿材料。

3.根据权利要求1所述的宽波带光电探测器，其特征在于：所述FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜是由PbI₂、CsI和甲脒氢碘酸盐FAI溶于DMSO和DMF中形成的前驱体溶液，在绝缘玻璃的上表面旋涂成膜获得。

4.根据权利要求1或3所述的宽波带光电探测器，其特征在于：所述FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜的厚度在150～200nm之间。

5.根据权利要求1所述的宽波带光电探测器，其特征在于：所述金薄膜电极的厚度在50～100nm。

6.一种权利要求1～5中任意一项所述的宽波带光电探测器的制备方法，其特征是按如下步骤进行：

(1)将绝缘玻璃依次用丙酮、酒精和去离子水超声清洗，再经氮气吹干；然后放入等离子清洗机中，以氧气作为工作气体进行等离子清洗，备用；

(2)在玻璃瓶中依次加入0.461g的PbI₂、0.0389g的CsI和0.145g的甲脒氢碘酸盐FAI，然后加入0.2mL的DMSO和0.8mL的DMF，最后密封并在70℃加热搅拌1小时，获得前驱体溶液；

(3)将清洗后的绝缘玻璃放置到离心机上，将0.1mL的前躯体溶液滴于绝缘玻璃的上表面，然后以3000转/分钟的转速离心1分钟，并在离心开始10秒时在绝缘玻璃的上表面再滴加0.5mL的乙酸乙酯作为反溶剂以提高成膜质量；离心后将样片放置在加热板上140℃退火20分钟，然后冷却至室温，即在绝缘玻璃的上表面形成FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜；

(4)在所述FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜上覆盖掩膜版，然后通过电子束镀膜在FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜上蒸镀金薄膜，形成一对与所述FA_0.85Cs_0.15PbI₃薄膜呈欧姆接触的金薄膜电极，即完成宽波带光电探测器的制备。