[发明专利]用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉

权利要求书

1.一种用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉，包括保温筒(1)、保温盖(2)、位于该保温筒(1)外的防护罩(3)和支撑架(4)，在所述的保温筒(1)内设有内筒(5)，在该内筒(5)的内部设有晶体支撑板(6)和支撑板支座(7)，在所述的保温筒(1)的内壁上安装有加热器(8)，其特征在于，所述的加热器(8)的内壁与内筒(5)的外壁之间布置有侧壁油道(9)和多孔筛环(10)，所述的侧壁油道(9)由一系列上下分布的水平圆环组成，在每个水平圆环上均设有开口，且上下相邻的两个水平圆环的开口相互交错，所述的多孔筛环(10)水平设置在所述的侧壁油道(9)的上方，该多孔筛环(10)上均匀分布有通孔，所述的保温筒(1)的底部上表面和内筒(5)的底部下表面之间布置有底部油道(11)，该底部油道(11)由一系列不同半径的圆环相互嵌套而成，每个圆环上均设有开口，且相邻的两个圆环的开口相互交错，所述的内筒(5)底部上表面的中心与出油管(12)的进油端相连，该出油管(12)的出油端与油泵(13)的进口连接，该油泵(13)位于所述的保温筒(1)的外部，在所述的出油管(12)旁边安装进油管(14)，该进油管(14)的出油端位于保温筒(1)的底部上表面、连通所述的底部油道(11)，所述的进油管(14)的进油端与油泵(13)的出口相连。

2.根据权利要求1所述的用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉，其特征在于，所述的侧壁油道(9)由一系列上下分布的水平圆环组成，在所述的水平圆环上设有一对关于该水平圆环中心对称的开口，上下相邻的两个水平圆环的开口相互正交。

3.根据权利要求1所述的用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉，其特征在于，所述的底部油道(11)由一系列不同半径的圆环相互嵌套而成，在所述的圆环上设有一对关于该圆环的中心对称的开口，每相邻的两个圆环的开口相互正交。

4.根据权利要求1-3任一所述的用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉，其特征在于，所述的晶体支撑板(6)上设有定位螺孔，待退火的晶体通过定位螺栓和所述的定位螺孔被固定在晶体支撑板(6)上，所述的支撑板支座(7)固定在所述的底部油道(11)的上表面上。

5.根据权利要求1-3任一所述的用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉，其特征在于，所述的保温盖(2)下部安装有密封圈(15)，在该保温盖(2)上还设有安全阀(16)。