[发明专利]三轴高量程加速度传感器灵敏度测试系统

说明书

技术领域

本发明涉及微电子测试技术领域，具体是一种三轴高量程加速度传感器灵敏度测试系统。

背景技术

灵敏度是传感器性能指标中的一个重要指标，对于三轴加速度传感器，传统的测试手段需要对加速度传感器的X、Y、Z轴分别施加加速度，也就是对一个加速度传感器需要测量三次，效率低。

发明内容

本发明的目的在于提供三轴高量程加速度传感器灵敏度测试系统，该系统单次加速度冲击就可以测试加速度传感器在X、Y、Z三个轴向的灵敏度，效率高。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

三轴高量程加速度传感器灵敏度测试系统，包括加速度冲击试验台、冲击波采集板与计算机处理系统，其特征在于，所述测试系统还包括测试工装，测试工装呈三棱锥状，测试工装的一面竖直安装于加速度冲击试验台的侧部；待测试加速度传感器设于测试工装其余三个面的任意一个；待测试加速度传感器与冲击波采集板对应连接；在测试工装的外侧还设有三个激光器，三个激光器分别按照传感器的X、Y、Z三轴敏感方向相应分布；三个激光器分别连接至激光测速仪，激光测速仪与计算机处理系统相连；计算机处理系统根据激光测速仪反馈的三个轴向的加速度值以及冲击波采集板反馈的三个轴向的脉冲电压与脉冲宽度，计算得到三个敏感轴向的灵敏度值。

本发明还可以有另外一种方案：

三轴高量程加速度传感器灵敏度测试系统，包括加速度冲击试验台、冲击波采集板与计算机处理系统，其特征在于，所述测试系统还包括测试工装，测试工装呈三棱锥状，测试工装的一面竖直安装于加速度冲击试验台的侧部；待测试加速度传感器设于测试工装其余三个面的任意一个；待测试加速度传感器与冲击波采集板对应连接；加速度冲击试验台设有应变单元，应变单元与计算机处理系统相连；应变单元将冲击方向的加速度值反馈给计算机处理系统，计算机处理系统计算出该加速度值分解到X、Y、Z三轴敏感方向的加速度，并根据冲击波采集板反馈的三个轴向的脉冲电压与脉冲宽度，计算得到三个敏感轴向的灵敏度值。

本发明的有益效果是，加速度冲击试验台只需对待测试加速度传感器施加一次冲击，即可得到X、Y、Z三个敏感轴向的灵敏度值，成本低、效率高，适合批量高量程加速度传感器的测试。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本发明实施例一的示意图；

图2是本发明中测试工装的示意图；

图3是图2的仰视图；

图4是本发明测试工装与待测试加速度传感器的装配侧视图；

图5是本发明实施例二的示意图。

具体实施方式

实施例一

如图1所示，本发明提供三轴高量程加速度传感器灵敏度测试系统，包括加速度冲击试验台1、冲击波采集板2与计算机处理系统3，结合图2～４所示，所述测试系统还包括测试工装4，测试工装4呈三棱锥状，测试工装4底面设有安装孔4a，通过安装孔4a将测试工装4底面竖直安装于加速度冲击试验台1的侧部；待测试加速度传感器8设于测试工装4其余三个面的任意一个；待测试加速度传感器8与冲击波采集板2对应连接；在测试工装4的外侧还设有三个激光器5，三个激光器分别按照传感器的X、Y、Z三轴敏感方向相应分布；三个激光器分别连接至激光测速仪6，激光测速仪6与计算机处理系统3相连；计算机处理系统3根据激光测速仪6反馈的三个轴向的加速度值以及冲击波采集板2反馈的三个轴向的脉冲电压与脉冲宽度，计算得到三个敏感轴向的灵敏度值。

实施例二

本发明还可以有另外一种方案：

结合图5所示，三轴高量程加速度传感器灵敏度测试系统，包括加速度冲击试验台1、冲击波采集板2与计算机处理系统3，所述测试系统还包括测试工装4，测试工装4的结构与安装方式与实施例一相同，待测试加速度传感器8与冲击波采集板2对应连接；加速度冲击试验台1设有应变单元7，应变单元7与计算机处理系统1相连；应变单元7将冲击方向的加速度值反馈给计算机处理系统1，计算机处理系统计算出该加速度值分解到X、Y、Z三轴敏感方向的加速度，并根据冲击波采集板2反馈的三个轴向的脉冲电压与脉冲宽度，计算得到三个敏感轴向的灵敏度值。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。