[发明专利]全内反射镜与套筒结合应用于曝光机光源模块

权利要求书

1.一种曝光模块，其特征在于，所述曝光模块包含：

一发光组件，其包含：

多个发光单元，其排列设置于一灯板，各个所述发光单元能发出一紫外光；以及

一调光组件，其可拆卸地固定设置于所述灯板，所述调光组件包含：

多个光学透镜，各个所述光学透镜的内部能全反射所述紫外光；及

一套筒结构，其包含有多个通道，各个所述通道分别贯穿所述套筒结构设置，且各个所述通道两端的开口，形成于所述套筒结构彼此相对的两侧；

其中，所述调光组件固定设置于所述灯板时，多个所述光学透镜的至少一部分对应位于多个所述通道中；形成各个所述通道的一内壁，能吸收部分通过所述光学透镜的所述紫外光，未被吸收的所述紫外光则由所述通道的一端射出。

2.依据权利要求1所述的曝光模块，其特征在于，各个所述内壁具有一抵顶部，所述抵顶部能限制相对应的所述光学透镜于所述通道中的活动范围。

3.依据权利要求1所述的曝光模块，其特征在于，各个所述内壁具有一吸光层，所述吸光层能吸收所述紫外光。

4.依据权利要求1至3中任一项所述的曝光模块，其特征在于，各个所述发光单元所发出的所述紫外光通过所述光学透镜后的发光角度，小于各个所述发光单元的发光角度；各个所述发光单元所发出的所述紫外光，通过所述光学透镜及所述通道后的发光角度，小于各个所述发光单元所发出的所述紫外光通过所述光学透镜后的发光角度。

5.一种调光组件，其特征在于，所述调光组件适用于一紫外光曝光装置中，所述紫外光曝光装置包含有多个发光单元，所述调光组件包含一套筒结构，所述套筒结构包含有多个通道，各个所述通道分别贯穿所述套筒结构设置，且各个所述通道两端的开口，形成于所述套筒结构彼此相对的两侧壁；多个所述通道能容置多个所述发光单元的至少一部分，形成各个所述通道的一内壁能吸收相对应的所述发光单元所发出的紫外光的一部分。

6.依据权利要求5所述的调光组件，其特征在于，所述调光组件包含有多个光学透镜，各个所述光学透镜的内部能全反射所述紫外光，多个所述光学透镜的至少一部分对应位于多个所述通道中；各个所述内壁具有一抵顶部，所述抵顶部能限制相对应的所述光学透镜于所述通道中的活动范围。

7.依据权利要求6所述的调光组件，其特征在于，通过各个所述通道的所述紫外光的发光角度，小于通过各个所述光学透镜的所述紫外光的发光角度。

8.依据权利要求5所述的调光组件，其特征在于，各个所述内壁具有一吸光层，所述吸光层能吸收所述紫外光。

9.一种曝光模块，其特征在于，所述曝光模块适用于一紫外光曝光装置中，所述紫外光曝光装置包含有至少一发光单元，所述发光单元能发出一紫外光，所述曝光模块包含一调光组件，所述调光组件用以套设于所述发光单元，所述调光组件能吸收所述发光单元所发出的部分所述紫外光，而缩小所述紫外光的发光角度。

10.依据权利要求9所述的曝光模块，其特征在于，所述调光组件包含有至少一光学透镜，所述光学透镜彼此相对的两端分别定义为一入光端及一出光端，所述光学透镜的外径由所述出光端至所述入光端逐渐缩小，所述光学透镜于所述入光端内凹形成有一凹槽，形成所述凹槽的底壁向远离所述出光端的方向延伸形成有一凸出部，所述凹槽能对应容置所述发光单元；其中，所述发光单元发出的所述紫外光，能通过形成所述凹槽的侧壁及所述凸出部进入所述光学透镜中，并经全反射后由所述出光端射出。