[发明专利]一种陶瓷电容压力传感器在审
| 申请号： | 201710581563.8 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN107389229A | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 陈锦荣;宋晓君;操小六;项昱福;周志强;张从江;査俊 | 申请（专利权）人： | 合肥皖科智能技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 电容 压力传感器 | ||
1.一种陶瓷电容压力传感器，其特征在于：包括基座、接线柱、固定电极、敏感膜片和可变电极，所述接线柱设置于所述基座上，所述基座的一端具有球面凹槽，所述固定电极设置于所述球面凹槽上，所述固定电极与所述接线柱相连接，所述固定电极上设置有玻璃绝缘层，所述敏感膜片与所述基座相连，所述可变电极设置于所述敏感膜片上并靠近所述基座一侧，所述固定电极与所述可变电极之间形成电容容室。
2.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器，其特征在于：所述固定电极包括第一固定电极和第二固定电极，所述第一固定电极为球面形，所述第二固定电极为圆环形，所述第一固定电极与所述第二固定电极同心设置。
3.根据权利要求2所述的陶瓷电容压力传感器，其特征在于：还包括屏蔽环，所述屏蔽环设置于所述敏感膜片上，所述屏蔽环环绕所述可变电极设置。
4.根据权利要求3所述的陶瓷电容压力传感器，其特征在于：所述接线柱的数量为四个，四个所述接线柱呈圆周状均布，四个所述接线柱分别与所述第一固定电极、所述第二固定电极、所述可变电极和所述屏蔽环相连接。
5.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器，其特征在于：所述基座上开设通气孔，所述通气孔与所述电容容室相连通。
6.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器，其特征在于：所述球面凹槽上设置第一定位孔，所述敏感膜片在与所述第一定位孔相匹配的位置设置第二定位孔。
7.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器，其特征在于：所述基座为圆柱形基座，所述球面凹槽设置于所述基座的一个底面上，所述基座由AL2O3材质制成。
8.根据权利要求3所述的陶瓷电容压力传感器，其特征在于：所述固定电极、所述可变电极和所述屏蔽环由金、银、铜或铂材质制成，所述敏感膜片为圆盘形，所述敏感膜片由陶瓷材质的薄板制成。
9.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器，其特征在于：还包括敏感膜片测量端屏蔽层，所述敏感膜片测量端屏蔽层设置于所述敏感膜片上，所述敏感膜片测量端屏蔽层和所述可变电极分别设置于所述敏感膜片的两侧。
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