[发明专利]扫描床位置控制系统

权利要求书

1.一种扫描床位置控制系统，其特征在于，包括：

位置反馈装置，用于获取扫描床床板的位置信息，并将所述扫描床床板的位置信息传送给扫描床控制装置；

扫描床控制装置，用于接收扫描床床板的位置信息，并产生相应方向的驱动信号，控制位置切换单元；位置切换单元，用于根据所述驱动信号中的相应方向信息，将所述位置反馈装置耦合到扫描床床板沿相应方向运动的机械系统中；

其中，所述扫描床床板的位置信息包括以下至少一种：扫描床床板的位置增量信息和扫描床床板的具体位置信息。

2.如权利要求1所述的扫描床位置控制系统，其特征在于，所述位置反馈装置包括：用于反馈扫描床床板的位置增量信息的第一位置反馈装置，或用于反馈扫描床床板的具体位置信息的第二位置反馈装置。

3.如权利要求2所述的扫描床位置控制系统，其特征在于，还包括：位置反馈信息采集单元，所述第一位置反馈装置还用于获取扫描床床板的位置增量信息，并将所述扫描床床板的位置增量信息传送给所述位置反馈信息采集单元；所述位置反馈信息采集单元用于采集所述扫描床床板的位置增量信息，对所述扫描床床板的位置增量信息进行处理，得到扫描床床板的具体位置信息，并将所述扫描床床板的具体位置信息和所述扫描床床板的位置增量信息传送给所述扫描床控制装置。

4.如权利要求3所述的扫描床位置控制系统，其特征在于，所述位置反馈信息采集单元，包括：偏移补偿子单元，用于对所述扫描床床板的位置增量信息进行偏移补偿；比例参数校对子单元，用于对所述扫描床床板的位置增量信息进行比例参数校对。

5.如权利要求4所述的扫描床位置控制系统，其特征在于，所述位置反馈信息采集单元包括：积分子单元，用于对经过偏移补偿和比例参数校对之后的扫描床床板的位置增量信息进行时间积分，得到所述扫描床床板的具体位置信息。

6.如权利要求5所述的扫描床位置控制系统，其特征在于，包括：非易失性存储器，用于存储所述扫描床床板的具体位置信息，所述位置反馈信息采集单元从所述存储器中读取所述扫描床床板的具体位置信息，传送给所述扫描床控制装置。

7.如权利要求6所述的扫描床位置控制系统，其特征在于，所述非易失性存储器为铁电存储器。

8.如权利要求2所述的扫描床位置控制系统，其特征在于，还包括：位置反馈信息采集单元，所述第二位置反馈装置用于获取扫描床床板的具体位置信息，并将所述扫描床床板的具体位置信息传送给所述位置反馈信息采集单元；所述位置反馈信息采集单元还用于采集所述扫描床床板的具体位置信息，对所述扫描床床板的具体位置信息进行处理，得到扫描床床板的位置增量信息，并将所述扫描床床板的具体位置信息和所述扫描床床板的位置增量信息传送给所述扫描床控制装置。

9.如权利要求8所述的扫描床位置控制系统，其特征在于，所述位置反馈信息采集单元，包括：微分子单元，用于对所述扫描床床板的具体位置信息进行微分，得到扫描床床板的位置增量信息。