[发明专利]一种硅片批量吸取装置

权利要求书

1.一种硅片批量吸取装置，其特征在于，包括：

吸取组件（1）；以及

用于将吸取组件（1）锁紧固定的紧固组件（2），

其中，吸取组件（1）由若干片彼此紧贴的硅片吸盘（11）层叠而成，紧固组件（2）包括分别设在吸取组件（1）左右两端的左安装板（21）与右安装板（22），以及设于左安装板（21）与右安装板（22）之间的连接杆（25），吸取组件（1）穿套于连接杆（25）之上并由左安装板（21）与右安装板（22）锁紧固定；

所述硅片吸盘（11）包括：

与硅片相接触的吸取部（112）；以及

与吸取部（112）一体成型的根部（111），

其中，吸取部（112）与硅片相接触面上开设有至少两个吸嘴（1121），硅片吸盘（11）的内部开设有通往根部（111）并连通外界的气路（113），气路（113）与吸嘴（1121）相连通；

所述根部（111）的厚度大于吸取部（112）的厚度，吸取部（112）关于根部（111）偏置设置从而当相邻两片硅片吸盘（11）紧贴时两者的吸取部（112）之间形成有用于容纳硅片的细缝（13）；

假定细缝（13）的厚度为H，硅片的厚度为h，则有hH≤2h；

所述气路（113）的出口设于根部（111）的端部，且气路（113）的出口处设有沿硅片吸盘（11）的长度伸展方向凸起的气管安装部（1112）；

相邻两片所述硅片吸盘（11）上的气管安装部（1112）非同侧设置从而当相邻两片硅片吸盘（11）紧贴时两者的气管安装部（1112）不接触；

所述硅片吸盘（11）由陶瓷材料制成。

2.如权利要求1所述的硅片批量吸取装置，其特征在于，气管安装部（1112）关于硅片吸盘（11）的纵向中心线（Z）偏置设置。