[发明专利]一种提高硅膜层与阳极结合力的方法在审
| 申请号： | 201710584980.8 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107400845A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 刘震;高劲松;王笑夷;王彤彤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C4/131 | 分类号： | C23C4/131;C23C4/02;C23C4/08 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 硅膜层 阳极 结合 方法 | ||
1.一种提高硅膜层与阳极结合力的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、切割图案
在阳极表面刻画出几何图案；
步骤2、阳极表面喷砂处理
调节喷砂机压力，添加砂料，将刻画好图案的阳极放入喷砂机内，调节压缩空气与送砂量的比例，对工装进行均匀喷砂；
步骤3、清洗烘干
用水将喷砂处理后的工装进行清洗，然后烘干；
步骤4、喷涂处理
用电弧喷涂设备对喷砂处理后的阳极进行喷涂，喷涂材料为Al丝；
步骤5、清洗烘干
用水将喷砂处理后的工装进行清洗，然后烘干。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1中所述几何图案为菱形、矩形或方形。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2中调节喷砂机压力为0.4～0.6MPa。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤2中调节喷砂机压力为0.5MPa。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2中所述砂料为白刚玉砂料或黑刚玉砂料，其规格为16#～30#。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3中对工装进行烘干的温度为100～200℃，时间为60～120分钟。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4中对阳极进行喷涂时，送丝电压为10～25V，喷涂电压为20～30V，喷涂电流为300～400A，喷涂厚度为0.1mm～0.3mm。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤4中对阳极进行喷涂时，送丝电压为20V，喷涂电压为25V，喷涂电流为350V，喷涂厚度为0.2mm。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤5中对工装进行烘干的温度为100～200℃，时间为60～120分钟。
10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3和步骤5中对工装进行烘干的温度均为200℃，时间均为90分钟。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710584980.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
