[发明专利]具有位置调节功能的嵌套式支承结构及其用途

权利要求书

1.一种具有位置调节功能的嵌套式支承结构，其特征在于，所述嵌套式支承结构包括：

用于对待支承件提供支承作用的内支承架，所述内支承架设置有沿横向X方向和纵向Y方向凸出的多个突出部；

用于支承并调节所述内支承架的外支承架，所述外支承架由沿所述横向X方向延伸的两个相对布置的横向延伸部和沿所述纵向Y方向延伸的两个相对布置的纵向延伸部构成，使得所述外支承架成型为沿着所述内支承架的四周围绕所述内支承架，并且所述外支承架设置有分别与所述内支承架的所述突出部相对应的开口，使得所述内支承架的所述突出部能够嵌入所述外支承架的所述开口中，从而使所述外支承架以嵌套的形式支承所述内支承架；

其中，所述外支承架在所述开口处分别设置有位置调节件，所述位置调节件能够沿横向X方向、纵向Y方向和竖向Z方向作用于所述内支承架的相应突出部，从而调节所述内支承架的六自由度。

2.根据权利要求1所述的具有位置调节功能的嵌套式支承结构，其特征在于，所述多个突出部关于所述内支承架的横向中轴线对称地分布并且关于所述内支承架的纵向中轴线对称地分布。

3.根据权利要求1所述的具有位置调节功能的嵌套式支承结构，其特征在于，所述内支承架设置有三组突出部，其中，每组突出部包括在水平XY平面上呈矩形分布的四个突出部，所述外支承架相应地设置有接纳所述三组突出部的三组开口，并且在每组开口处设置有能够关于横向X方向、纵向Y方向和竖向Z方向中的一个方向调节所述内支承件的位置调节件，从而共同实现沿横向X方向、纵向Y方向和竖向Z方向调节所述内支承架。

4.根据权利要求1所述的具有位置调节功能的嵌套式支承结构，其特征在于，所述横向延伸部和/或所述纵向延伸部是由外竖板、与所述外竖板相对布置的内竖板、分别与所述外竖板以及所述内竖板的上端连接的上横板、和分别与所述外竖板以及所述内竖板的下端连接的下横板形成的中空结构，使得位于所述横向延伸部和/或所述纵向延伸部的开口包括在所述外竖板中形成的外侧口和在所述内竖板中形成的与所述外侧口对称地布置的内侧口。

5.根据权利要求4所述的具有位置调节功能的嵌套式支承结构，其特征在于，所述位置调节件包括能够沿所述竖向Z方向调节所述内支承架的贯穿相应突出部的竖向调节螺柱和螺纹连接于所述竖向调节螺柱的竖向调节螺母、和沿所述纵向Y方向和所述横向X方向调节所述内支承架的水平调节螺柱和固定于所述下横板上的调节块，所述水平调节螺栓通过螺纹连接贯穿所述调节块并沿所述纵向Y方向或所述横向X方向作用于相应的突出部。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的具有位置调节功能的嵌套式支承结构，其特征在于，所述内支承架是用于支承电控位移台的中空结构，在所述内支承架的下方布置有测量平板，所述测量平板设置有位置传感器，用于感测所述电控位移台的位置。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的具有位置调节功能的嵌套式支承结构用于对元器件安装基准面进行调节的用途。