[发明专利]抑制方向串扰的电感型磁传感器及其制备方法有效
申请号: | 201710586338.3 | 申请日: | 2017-07-18 |
公开(公告)号: | CN107290694B | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 文玉梅;李平;卞雷祥 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G01R33/06 | 分类号: | G01R33/06 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 郭国中 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抑制 方向 电感 传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种抑制方向串扰的电感型磁传感器,其特征在于,包括绝缘不导磁衬底、传感线圈、偏置线圈、绝缘层以及导磁材料层;
所述传感线圈位于绝缘不导磁衬底上,所述偏置线圈位于两层绝缘层之间,所述导磁材料层位于最上的绝缘层上;
所述偏置线圈和传感线圈部分重叠,且所述偏置线圈和传感线圈的重叠部分的电流方向相互垂直;
所述偏置线圈和传感线圈的重叠部分的上下表面同时覆盖导磁材料层,并使上下导磁材料层连接。
2.根据权利要求1所述的抑制方向串扰的电感型磁传感器,其特征在于,所述偏置线圈上施加直流电流,使所述导磁材料层的磁导率不随垂直于敏感方向的磁场变化。
3.根据权利要求1所述的抑制方向串扰的电感型磁传感器,其特征在于,所述偏置线圈施加交流电流,交变频率大于被测磁场频率,使得该线圈电流引起导磁材料层产生零极化到饱和极化交变。
4.一种抑制方向串扰的电感型磁传感器的制备方法,其特征在于,其包括以下步骤:提供一绝缘不导磁衬底,衬底材料采用二氧化硅,在绝缘不导磁衬底上以溅射或者电镀的方法制作传感线圈,所述传感线圈表面覆盖一层绝缘层,绝缘层采用二氧化硅薄膜,在绝缘层上制作偏置线圈,偏置线圈和传感线圈部分重叠,偏置线圈和传感线圈的重叠部分的电流方向相互垂直,偏置线圈和传感线圈的重叠部分以溅射或者电镀的方法覆盖另一层绝缘层,在另一层绝缘层覆盖导磁材料层。
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